Kalibrace UV radiometrů a UV měřicích přístrojů – včetně přístrojů jiných výrobců
Opsytec provádí také kalibraci UV radiometrů, UV měřicích přístrojů a UV senzorů od jiných výrobců. Kalibrace se provádí pro ozářenost definované UV lampy, s metrologickou návazností na národní standardy; zahrnout lze téměř všechny vhodné přístroje jiných výrobců. Na požádání je kalibrace akreditována dle DIN EN ISO/IEC 17025:2018-03 ve vlastní kalibrační laboratoři.
Pro výběr vhodného postupu kalibrace jsou zvlášť důležité následující informace:
- Spektrální rozsah měřicího přístroje, např. 315–400 nm
- Typ lampy nebo použitý zdroj UV záření
- Pokud je k dispozici, aktuální nebo předchozí kalibrační list
V závislosti na přístroji, měřené veličině a aplikaci lze kalibraci provést jako kalibraci dle ISO 17025 nebo jako tovární kalibraci.
Kalibrace s justáží nebo stanovením korekčního faktoru
U přístrojů jiných výrobců je pro kalibraci s následnou justáží nutná vhodná technická dokumentace nebo návod k justáži od výrobce.
Pokud justáž není možná nebo není zamýšlena, stanoví se a zdokumentuje existující odchylka měření. Kromě toho lze určit korekční faktor.
Příklad:
- Referenční hodnota: 100 mW/cm²
- Hodnota naměřená přístrojem: 97 mW/cm²
- Korekční faktor: přibl. 1,03
Použití dokumentovaného korekčního faktoru má tu výhodu, že měřicí přístroj zůstává technicky nezměněn. To podporuje vysokou stabilitu procesu i dlouhodobou srovnatelnost a kalibraci nezávislou na výrobci přístroje.
Návazná kalibrace UV měřicích přístrojů
Kalibrace se provádí pomocí návazných referenčních standardů, což umožňuje spolehlivé hodnocení přesnosti měření v příslušných UV spektrálních rozsazích. V závislosti na přístroji lze stanovit a kalibrovat jak ozářenost, tak i dávku ozáření.
Kalibrujeme například přístroje UV PROBE 300MM a UV PROBE 150/200MM, které dříve vyráběla společnost AXCELIS a které se používají v polovodičovém průmyslu k měření a monitorování UV expozice během litografického procesu.
K přístrojům jiných výrobců, které pravidelně kalibrujeme, patří také modely od G&R Labs:
- G&R Labs Model 100
- G&R Labs Model 200
- G&R Labs Model 202
- G&R Labs Model 220
- G&R Labs Model 221
- G&R Labs Model 222
- G&R Labs Model 325
- G&R Labs Model 410
Kalibrace UV měřicích přístrojů Kühnast
Kalibrovat lze také UV měřicí přístroje a UV integrátory. Patří k nim zejména:
- Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV – 315–420 nm
- Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV Diazo – 350–460 nm
- Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-A – 315–400 nm
- Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-B – 280–315 nm
- Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-C – 230–280 nm
- Kühnast Strahlungstechnik UV-365A
- Kühnast Strahlungstechnik UV-254C
V závislosti na přístroji se pomocí návazných referenčních standardů kalibruje ozářenost a dávka ozáření v příslušných spektrálních rozsazích UV-A, UV-B, UV-C a UV-Diazo.
Omezení kalibrace dle ISO 17025 pro UV integrátory
U některých UV integrátorů není kalibrace dle ISO 17025 v rámci nabízeného rozsahu kalibrace možná, a to z důvodu konstrukce přístroje a skutečnosti, že tato zařízení měří pouze dávku ozáření. To se týká zejména:
- Kühnast UV Integrator 140 / UV-INT140
- Kühnast UV Integrator 150 / UV-INT150
Nicméně, v závislosti na verzi přístroje, spektrálním rozsahu a technickém stavu, může být u těchto přístrojů možná tovární kalibrace.
Kalibrace UV měřidel UVP a radiometrů UVX
Kalibrovat lze také starší UV měřidla a radiometry od výrobce UVP – Ultra-Violet Products, v závislosti na jejich technickém stavu, spektrálním rozsahu a modelu. Patří k nim zejména široce používaná UV měřidla UVP řady J a radiometr UVX se zaměnitelnými senzory UVA, UVB a UVC.
Kalibrovat lze následující měřidla a senzory UVP:
- UVP J-221 Longwave UV Meter – UVA měřidlo pro 300–400 nm, maximální citlivost při 365 nm
- UVP J-225 Shortwave UV Meter – UVC měřidlo pro 220–280 nm, maximální citlivost při 254 nm
- UVP UVX Radiometer – digitální UV radiometr pro zaměnitelné senzorové hlavy UVX
- UVP UVX-25 Sensor – UVC senzor pro 250–290 nm, kalibrační bod při 254 nm
- UVP UVX-31 Sensor – UVB senzor pro 280–340 nm, kalibrační bod při 310 nm
- UVP UVX-36 Sensor – UVA senzor pro 335–380 nm, kalibrační bod při 365 nm
Kalibrace senzorů a měřidel Skye Instruments
V závislosti na modelu a technickém stavu lze kalibrovat také UV měřidla a UV senzory od bývalého britského výrobce Skye Instruments Limited. Skye Instruments byl známý zejména svými UV senzory a měřidly řad Apollo a SpectroSense.
Mezi běžné UV senzory patří:
- Skye SKU 421 UV-A Sensor – přibl. 315–400 nm
- Skye SKU 430 UV-B Sensor – přibl. 280–315 nm
- Skye SKU 440 UV-I / UV Index Sensor – přibl. 280–400 nm, erytemální
- Skye SKU 420 UV-A Sensor
- Skye SKA 400 Apollo Light Meter
- Skye SKL 904 SpectroSense2
- Skye SKL 908 SpectroSense2+
Kalibrace ostatních UV měřicích přístrojů a UV senzorů
Kromě výše uvedených modelů lze testovat a kalibrovat také mnoho dalších UV radiometrů, UV měřicích přístrojů, UV senzorů a UV integrátorů od různých výrobců. Rozhodující jsou spektrální rozsah, měřená veličina, použitý zdroj záření a technická vhodnost daného přístroje.