Opsytec은 타사 제조사의 자외선(UV) 복사계, UV 측정기기 및 UV 센서도 교정합니다. 교정은 국가 표준에 소급 가능한 정의된 UV 램프의 복사조도를 기준으로 수행되며, 거의 모든 적합한 타사 기기가 대상에 포함될 수 있습니다. 요청 시 당사 자체 교정기관에서 DIN EN ISO/IEC 17025:2018-03에 따라 인정 교정을 진행합니다.

적합한 교정 절차를 선택하기 위해 특히 다음 정보가 중요합니다:

• 측정기기의 분광 범위, 예: 315~400 nm
• 사용된 램프 유형 또는 UV 방사선원
• 가능한 경우 최신 또는 이전 교정성적서

기기, 측정량 및 용도에 따라 교정은 ISO 17025 교정 또는 공장 교정으로 수행될 수 있습니다.

조정 또는 보정계수 산출을 포함한 교정

타사 기기의 경우, 조정을 수반한 교정을 위해서는 제조사가 제공하는 적절한 기술 문서 또는 조정 지침이 필요합니다.

조정이 불가능하거나 예정되어 있지 않은 경우, 기존 측정 편차를 산출하여 문서화합니다. 또한 보정계수를 지정할 수 있습니다.

예시:

• 기준값: 100 mW/cm²
• 기기 표시값: 97 mW/cm²
• 보정계수: 약 1.03

문서화된 보정계수를 사용하면 측정기기를 기술적으로 변경하지 않고 그대로 유지할 수 있다는 장점이 있습니다. 이는 높은 공정 안정성과 장기적인 비교 가능성, 그리고 기기 제조사와 무관한 교정을 지원합니다.

UV 측정기기의 소급 가능한 교정

교정은 소급 가능한 기준표준을 사용하여 수행되며, 이를 통해 해당 UV 분광 범위 내에서 측정 정확도를 신뢰성 있게 평가할 수 있습니다. 기기에 따라 복사조도와 복사 노출량을 모두 산출하고 교정할 수 있습니다.

예를 들어, 당사는 과거 AXCELIS에서 제조되었으며 반도체 산업에서 리소그래피 공정 중 UV 조사(照射)를 측정 및 모니터링하는 데 사용되는 UV PROBE 300MM 및 UV PROBE 150/200MM을 교정합니다.

정기적으로 교정되는 타사 기기에는 G&R Labs의 모델도 포함됩니다:

• G&R Labs Model 100
• G&R Labs Model 200
• G&R Labs Model 202
• G&R Labs Model 220
• G&R Labs Model 221
• G&R Labs Model 222
• G&R Labs Model 325
• G&R Labs Model 410

Kühnast UV 측정기기의 교정

UV 측정기기 및 UV 적산계도 교정할 수 있습니다. 특히 다음이 포함됩니다:

• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV – 315~420 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV Diazo – 350~460 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-A – 315~400 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-B – 280~315 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-C – 230~280 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-365A
• Kühnast Strahlungstechnik UV-254C

기기에 따라 해당 UV-A, UV-B, UV-C 및 UV-Diazo 분광 범위에서 소급 가능한 기준표준을 사용하여 복사조도와 복사 노출량을 교정합니다.

UV 적산계에 대한 ISO 17025 교정의 제한 사항

특정 UV 적산계의 경우, 기기 구조 및 이러한 기기가 복사 노출량만 측정한다는 특성으로 인해 제공되는 교정 범위 내에서 ISO 17025 교정이 불가능합니다. 이는 특히 다음에 해당됩니다:

• Kühnast UV Integrator 140 / UV-INT140
• Kühnast UV Integrator 150 / UV-INT150

다만 기기 버전, 분광 범위 및 기술적 상태에 따라 이러한 기기에 대한 공장 교정은 가능할 수 있습니다.

UVP UV 미터 및 UVX 복사계의 교정

UVP—Ultra-Violet Products—사의 구형 UV 미터 및 복사계도 기술적 상태, 분광 범위 및 모델에 따라 교정할 수 있습니다. 여기에는 특히 널리 사용되는 UVP J-Series UV 미터와 교체형 UVA, UVB, UVC 센서를 갖춘 UVX 복사계가 포함됩니다.

다음 UVP 미터 및 센서를 교정할 수 있습니다:

• UVP J-221 Longwave UV Meter – 300~400 nm용 UVA 미터, 최대 감도 365 nm
• UVP J-225 Shortwave UV Meter – 220~280 nm용 UVC 미터, 최대 감도 254 nm
• UVP UVX Radiometer – 교체형 UVX 센서 헤드용 디지털 UV 복사계
• UVP UVX-25 Sensor – 250~290 nm용 UVC 센서, 교정 지점 254 nm
• UVP UVX-31 Sensor – 280~340 nm용 UVB 센서, 교정 지점 310 nm
• UVP UVX-36 Sensor – 335~380 nm용 UVA 센서, 교정 지점 365 nm

Skye Instruments 센서 및 미터의 교정

과거 영국 제조사인 Skye Instruments Limited의 UV 미터 및 UV 센서도 모델 및 기술적 상태에 따라 교정할 수 있습니다. Skye Instruments는 특히 Apollo 및 SpectroSense 시리즈의 UV 센서와 미터로 잘 알려져 있었습니다.

대표적인 UV 센서는 다음과 같습니다:

• Skye SKU 421 UV-A Sensor – 약 315~400 nm
• Skye SKU 430 UV-B Sensor – 약 280~315 nm
• Skye SKU 440 UV-I / UV Index Sensor – 약 280~400 nm, 홍반성 
• Skye SKU 420 UV-A Sensor 
• Skye SKA 400 Apollo Light Meter
• Skye SKL 904 SpectroSense2
• Skye SKL 908 SpectroSense2+

기타 UV 측정기기 및 UV 센서의 교정

위에 나열된 모델 외에도, 다양한 제조사의 수많은 다른 UV 복사계, UV 측정기기, UV 센서 및 UV 적산계를 시험 및 교정할 수 있습니다. 결정적인 요소는 분광 범위, 측정량, 사용된 방사선원 및 해당 기기의 기술적 적합성입니다.