Opsytec ayrıca diğer üreticilere ait UV radyometrelerini, UV ölçüm cihazlarını ve UV sensörlerini de kalibre etmektedir. Kalibrasyon, tanımlı bir UV lambasının irradyansı için ulusal standartlara izlenebilir şekilde gerçekleştirilir; uygun olan üçüncü taraf cihazların neredeyse tümü kapsama alınabilir. Talep üzerine kalibrasyon, kendi kalibrasyon laboratuvarımızda DIN EN ISO/IEC 17025:2018-03'e göre akredite olarak gerçekleştirilir.

Uygun kalibrasyon prosedürünün seçilmesi için özellikle aşağıdaki bilgiler önemlidir:

• Ölçüm cihazının spektral aralığı, örn. 315–400 nm
• Kullanılan lamba tipi veya UV ışınım kaynağı
• Varsa güncel veya önceki bir kalibrasyon sertifikası

Cihaza, ölçülen büyüklüğe ve uygulamaya bağlı olarak kalibrasyon, ISO 17025 kalibrasyonu veya fabrika kalibrasyonu olarak gerçekleştirilebilir.

Ayarlama ile Kalibrasyon veya Bir Düzeltme Faktörünün Belirlenmesi

Üçüncü taraf cihazlar için, ayarlamayı takip eden kalibrasyon amacıyla üreticiden uygun teknik dokümantasyon veya ayarlama talimatları gereklidir.

Ayarlama mümkün değilse veya amaçlanmıyorsa, mevcut ölçüm sapması belirlenir ve belgelenir. Ayrıca bir düzeltme faktörü de belirtilebilir.

Örnek:

• Referans değeri: 100 mW/cm²
• Cihaz okuma değeri: 97 mW/cm²
• Düzeltme faktörü: yaklaşık 1,03

Belgelenmiş bir düzeltme faktörünün kullanılması, ölçüm cihazının teknik olarak değişmeden kalması avantajını sunar. Bu, hem yüksek süreç kararlılığını hem de uzun vadeli karşılaştırılabilirliği ve cihaz üreticisinden bağımsız kalibrasyonu destekler.

UV Ölçüm Cihazlarının İzlenebilir Kalibrasyonu

Kalibrasyon, izlenebilir referans standartları kullanılarak gerçekleştirilir; bu sayede ilgili UV spektral aralıklarında ölçüm doğruluğunun güvenilir bir şekilde değerlendirilmesi sağlanır. Cihaza bağlı olarak hem irradyans hem de ışınım maruziyeti belirlenip kalibre edilebilir.

Örneğin, daha önce AXCELIS tarafından üretilen ve yarı iletken endüstrisinde litografi süreci sırasında UV maruziyetini ölçmek ve izlemek için kullanılan UV PROBE 300MM ve UV PROBE 150/200MM cihazlarını kalibre ediyoruz.

Düzenli olarak kalibre edilen üçüncü taraf cihazlar arasında G&R Labs'in aşağıdaki modelleri de bulunmaktadır:

• G&R Labs Model 100
• G&R Labs Model 200
• G&R Labs Model 202
• G&R Labs Model 220
• G&R Labs Model 221
• G&R Labs Model 222
• G&R Labs Model 325
• G&R Labs Model 410

Kühnast UV Ölçüm Cihazlarının Kalibrasyonu

UV ölçüm cihazları ve UV entegratörleri de kalibre edilebilir. Bunlar özellikle şunları içerir:

• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV – 315–420 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV Diazo – 350–460 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-A – 315–400 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-B – 280–315 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-C – 230–280 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-365A
• Kühnast Strahlungstechnik UV-254C

Cihaza bağlı olarak, ilgili UV-A, UV-B, UV-C ve UV-Diazo spektral aralıklarında irradyans ve ışınım maruziyeti, izlenebilir referans standartları kullanılarak kalibre edilir.

UV Entegratörleri için ISO 17025 Kalibrasyonunun Sınırlamaları

Belirli UV entegratörleri için, cihaz tasarımı ve bu cihazların yalnızca ışınım maruziyetini ölçmesi nedeniyle sunulan kalibrasyon kapsamı dahilinde ISO 17025 kalibrasyonu mümkün değildir. Bu özellikle şunlar için geçerlidir:

• Kühnast UV Integrator 140 / UV-INT140
• Kühnast UV Integrator 150 / UV-INT150

Bu cihazların fabrika kalibrasyonu, cihaz versiyonuna, spektral aralığa ve teknik durumuna bağlı olarak yine de mümkün olabilir.

UVP UV Ölçerlerin ve UVX Radyometrelerinin Kalibrasyonu

UVP—Ultra-Violet Products—firmasının daha eski UV ölçerleri ve radyometreleri de teknik durumlarına, spektral aralıklarına ve modellerine bağlı olarak kalibre edilebilir. Bunlar arasında özellikle yaygın olarak kullanılan UVP J-Serisi UV ölçerler ve değiştirilebilir UVA, UVB ve UVC sensörlerine sahip UVX radyometresi bulunmaktadır.

Aşağıdaki UVP ölçerleri ve sensörleri kalibre edilebilir:

• UVP J-221 Longwave UV Meter – 300–400 nm için UVA ölçer, maksimum hassasiyet 365 nm'de
• UVP J-225 Shortwave UV Meter – 220–280 nm için UVC ölçer, maksimum hassasiyet 254 nm'de
• UVP UVX Radiometer – Değiştirilebilir UVX sensör başlıkları için dijital UV radyometresi
• UVP UVX-25 Sensor – 250–290 nm için UVC sensörü, kalibrasyon noktası 254 nm'de
• UVP UVX-31 Sensor – 280–340 nm için UVB sensörü, kalibrasyon noktası 310 nm'de
• UVP UVX-36 Sensor – 335–380 nm için UVA sensörü, kalibrasyon noktası 365 nm'de

Skye Instruments Sensörlerinin ve Ölçerlerinin Kalibrasyonu

Eski İngiliz üretici Skye Instruments Limited'e ait UV ölçerler ve UV sensörleri de modele ve teknik duruma bağlı olarak kalibre edilebilir. Skye Instruments, özellikle Apollo ve SpectroSense serisindeki UV sensörleri ve ölçerleriyle tanınmaktaydı.

Yaygın UV sensörleri arasında şunlar bulunur:

• Skye SKU 421 UV-A Sensor – yaklaşık 315–400 nm
• Skye SKU 430 UV-B Sensor – yaklaşık 280–315 nm
• Skye SKU 440 UV-I / UV Index Sensor – yaklaşık 280–400 nm, eritemal 
• Skye SKU 420 UV-A Sensor 
• Skye SKA 400 Apollo Light Meter
• Skye SKL 904 SpectroSense2
• Skye SKL 908 SpectroSense2+

Diğer UV Ölçüm Cihazlarının ve UV Sensörlerinin Kalibrasyonu

Yukarıda listelenen modellere ek olarak, çeşitli üreticilere ait sayısız diğer UV radyometresi, UV ölçüm cihazı, UV sensörü ve UV entegratörü test edilip kalibre edilebilir. Belirleyici faktörler spektral aralık, ölçülen büyüklük, kullanılan ışınım kaynağı ve ilgili cihazın teknik uygunluğudur.