Opsytecでは、他メーカー製のUV放射計、UV測定器、およびUVセンサの校正も行っております。校正は、定義されたUVランプの放射照度について、国家標準にトレーサブルな形で実施され、適合するほぼすべての他社製測定器を対象とすることが可能です。ご要望に応じて、弊社独自の校正機関においてDIN EN ISO/IEC 17025:2018-03に基づく認定校正も実施いたします。

適切な校正方法を選定する上で、特に以下の情報が重要です。

• 測定器の分光範囲（例：315～400 nm）
• 使用されるランプの種類またはUV放射源
• お持ちの場合は、現行または過去の校正証明書

測定器、測定量、用途に応じて、校正はISO 17025校正または工場校正として実施可能です。

調整または補正係数の決定を伴う校正

他社製測定器について調整を伴う校正を行う場合、メーカーによる適切な技術資料または調整手順書が必要です。

調整が不可能な場合、または調整を意図しない場合には、既存の測定偏差を求めて記録いたします。さらに、補正係数を規定することも可能です。

例：

• 基準値：100 mW/cm²
• 測定器読み値：97 mW/cm²
• 補正係数：約1.03

文書化された補正係数を用いることで、測定器自体を技術的に変更せずに済むという利点があります。これにより高いプロセス安定性、長期的な比較可能性、そして測定器メーカーに依存しない校正が可能となります。

UV測定器のトレーサブルな校正

校正はトレーサブルな基準標準器を用いて実施され、該当するUV分光範囲における測定精度の信頼性の高い評価が可能です。測定器に応じて、放射照度と放射露光量の両方を測定・校正することができます。

例えば、かつてAXCELIS社が製造し、半導体産業においてリソグラフィ工程中のUV露光の測定・監視に使用されているUV PROBE 300MMおよびUV PROBE 150/200MMの校正も行っております。

定期的に校正を行っている他社製測定器には、G&R Labs社の以下のモデルも含まれます。

• G&R Labs Model 100
• G&R Labs Model 200
• G&R Labs Model 202
• G&R Labs Model 220
• G&R Labs Model 221
• G&R Labs Model 222
• G&R Labs Model 325
• G&R Labs Model 410

Kühnast社製UV測定器の校正

UV測定器およびUVインテグレータの校正も可能です。特に以下の製品が対象となります。

• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV – 315～420 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV Diazo – 350～460 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-A – 315～400 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-B – 280～315 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-Meter UV-C – 230～280 nm
• Kühnast Strahlungstechnik UV-365A
• Kühnast Strahlungstechnik UV-254C

測定器に応じて、該当するUV-A、UV-B、UV-C、UV-Diazoの分光範囲において、トレーサブルな基準標準器を用いて放射照度および放射露光量を校正いたします。

UVインテグレータにおけるISO 17025校正の制限

一部のUVインテグレータについては、機器の構造上、また放射露光量のみを測定する機器であることから、提供している校正範囲内でのISO 17025校正を行うことができません。これは特に以下の製品に該当します。

• Kühnast UV Integrator 140 / UV-INT140
• Kühnast UV Integrator 150 / UV-INT150

ただし、機器のバージョン、分光範囲、技術的状態によっては、これらの測定器の工場校正が可能な場合があります。

UVP社製UVメーターおよびUVX放射計の校正

UVP（Ultra-Violet Products）社製の旧型UVメーターおよび放射計についても、技術的状態、分光範囲、モデルに応じて校正が可能です。これには特に、広く使用されているUVP J-SeriesのUVメーター、および交換可能なUVA・UVB・UVCセンサを備えたUVX放射計が含まれます。

以下のUVP製メーターおよびセンサの校正が可能です。

• UVP J-221 Longwave UV Meter – UVAメーター、300～400 nm、365 nmで最大感度
• UVP J-225 Shortwave UV Meter – UVCメーター、220～280 nm、254 nmで最大感度
• UVP UVX Radiometer – 交換可能なUVXセンサヘッド対応のデジタルUV放射計
• UVP UVX-25 Sensor – UVCセンサ、250～290 nm、校正点254 nm
• UVP UVX-31 Sensor – UVBセンサ、280～340 nm、校正点310 nm
• UVP UVX-36 Sensor – UVAセンサ、335～380 nm、校正点365 nm

Skye Instruments社製センサおよびメーターの校正

かつての英国メーカーであるSkye Instruments Limited社製のUVメーターおよびUVセンサについても、モデルおよび技術的状態に応じて校正が可能です。Skye Instruments社は特に、ApolloおよびSpectroSenseシリーズのUVセンサ・メーターで知られていました。

一般的なUVセンサには以下があります。

• Skye SKU 421 UV-A Sensor – 約315～400 nm
• Skye SKU 430 UV-B Sensor – 約280～315 nm
• Skye SKU 440 UV-I / UV Index Sensor – 約280～400 nm、紅斑作用 
• Skye SKU 420 UV-A Sensor 
• Skye SKA 400 Apollo Light Meter
• Skye SKL 904 SpectroSense2
• Skye SKL 908 SpectroSense2+

その他のUV測定器およびUVセンサの校正

上記に挙げたモデルのほか、さまざまなメーカーの数多くのUV放射計、UV測定器、UVセンサ、UVインテグレータについても試験・校正が可能です。決定要因となるのは、分光範囲、測定量、使用される放射源、および各測定器の技術的適合性です。