tinyTracker 172 nm: Pásmový radiometr pro přesná měření záření xenonové excimerové výbojky 172 nm
tinyTracker 172 je kalibrovaný pásový radiometr pro měření ozářenosti a dávky u xenonových excimerových výbojek na 172 nm. Jeho SiC fotodetektor je kalibrován PTB a je citlivý od 155 nm do 520 nm, měřicí rozsah je 0–200 mW/cm². Při výšce 10 mm prochází přístroj ozařovacími kanály a zaznamenává až tři hodiny při 1 až 100 Hz – včetně provozu v atmosféře inertního plynu.
Xenonové excimerové výbojky umožňují nové, úsporné a efektivnější výrobní možnosti. Používají se v oblasti povrchové úpravy pro matování, čištění, aktivaci povrchu nebo pro snížení spotřeby fotoiniciátoru.
Za tímto účelem se obvykle využívá úzkopásmové spektrum kolem 172 nm k ozařování za podmínek inertního plynu. Vysoká fotonová energie je pak dostatečná k rozštěpení téměř všech organických sloučenin.
Měření na 172 nm (VUV) je důležitou součástí řízení a optimalizace procesu.
S tinyTracker 172 nabízíme kalibrovaný pásový radiometr, který je vhodný pro použití v inertní atmosféře. tinyTracker 172 je absolutně kalibrovaný a měří ozářenost a dávku ozáření xenonových excimerových výbojek přímo na 172 nm.
Díky svému zvláště plochému provedení lze tinyTracker 172 provést ozařovacími kanály UV pásových sušiček a dalších průmyslových zařízení.
Záznam hodnot se spustí automaticky při překročení nastavitelné minimální ozářenosti. Vestavěný fotodetektor je kalibrován PTB.
Data jsou zaznamenávána na vyměnitelnou SD kartu a přenášena přes USB do PC.
Vyhodnocení a export dat se pohodlně provádí pomocí PC softwaru pro tinytracker 172.
Li-ionová baterie zajišťuje dobu záznamu až 3 hodiny. Li-ionovou baterii lze nabíjet přímo přes USB rozhraní. Přídavný síťový adaptér je součástí dodávky.
Přednosti tinyTracker 172 pro xenonové excimerové výbojky
- Kalibrovaný fotodetektor pro VUV záření
- Ideální pro měření záření na 172 nm
- Nízká výška pouze 10 mm
- Rychlý záznam dat až 100 měření za sekundu
Proč je měření na 172 nm závislé na vzdálenosti, atmosféře a materiálu okénka, je vysvětleno na stránce měření VUV záření 172 nm.
| Typ produktu | UV měřič: VUV procesní dozimetr pro excimerové xenonové lampy 172 nm v inertním plynu |
| Spektrální rozsah | 172 nm (nominální vlnová délka) |
| Měřicí rozsah | 0–200 mW/cm² |
| Nejistota kalibrace (typ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Výstup / rozhraní | Rozhraní: Mini-USB 2.0 |
| Časové rozlišení | Frekvence záznamu: 1–100 Hz, nastavitelná |
| Kalibrace | rekalibrovatelný |
| Normy / směrnice | žádná produktově specifická norma; kalibrace dle DIN EN ISO/IEC 17025:2018 k dispozici |
| Vhodné pro | Elektronika a polovodiče; Optika a přesné komponenty; Automobilový průmysl |
| Nevhodné pro | spektrálně rozlišené měření (špičková vlnová délka, šířka pásma); ozářenost nad 200 mW/cm² (standardní rozsah); teploty senzoru nad 60 °C; použití pod vodou nebo pod tlakem |
| Revize datového listu | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
Výše uvedená kalibrační nejistota je rozšířená nejistota kalibrace (k = 2, míra spolehlivosti přibl. 95 %) a vztahuje se na kalibrační zdroj a kalibrační podmínky. Při praktickém použití je měřicí nejistota vyšší: přidává se k ní spektrální nesoulad u skutečně použitého zdroje, teplota senzoru, stárnutí od kalibrace a také vzdálenost a vyrovnání vůči zdroji. Jak se tyto vlivy spojují do rozpočtu nejistoty, je vysvětleno v části Nejistota měření při měření UV záření.
Zobrazit tinyTracker 172 nm jako 3D model
Podívejte se na datalogger ze všech stran, otočte jím a přibližte si ho – přímo ve svém prohlížeči.
tinyTracker 172 nm si můžete prohlédnout ze všech stran v 3D prohlížeči produktů – věrně originálu, vygenerovaném z dat CAD konstrukce. Při celkové výšce 10 mm a provozu v atmosféře inertního plynu rozhoduje každý milimetr o tom, zda přístroj projde ozařovacím kanálem – prostorové zobrazení to ukáže jasněji než pouhé číslo.
Technické údaje tinyTracker 172 pro xenonové excimerové lampy
| Rozsah měření | 0–200 mW/cm² |
| Rozlišení | 12 bit |
| Doba záznamu | až 3 hodiny |
| Vzorkovací frekvence | 1–100 Hz, nastavitelná |
| Fotodetektor | SiC |
| Spektrální citlivost | 155 až 520 nm |
| Rozměry | 195 × 79 × 10 mm |
| Přípustná provozní teplota | 60 °C |
| Napájecí napětí | 5 V DC |
| Napájení | Li-ion baterie, 1250 mAh |
| Rozhraní | Mini-USB 2.0 |
| Systémové požadavky | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Často kladené otázky: tinyTracker 172 nm
Xenonové excimerové výbojky na 172 nm emitují ve vakuovém UV záření, které je pohlceno vzduchem během několika milimetrů; standardní UVC senzory s filtry pro 200–280 nm tuto vlnovou délku nezachytí. tinyTracker 172 nm je kalibrován na 172 nm, jeho detektor je citlivý od 155 do 520 nm a je umístěn přímo pod výbojkou pro měření v atmosféře dusíku nebo inertního plynu. Rozsah měření je 0–200 mW/cm².
Typickými procesy jsou aktivace a čištění povrchů při výrobě polovodičů a displejů, předúprava před lepením nebo nanášením povlaků a matování povlaků pomocí excimerových výbojek. Ve všech případech se stanovuje dávka v mJ/cm² na substrátu, protože ta definuje proces; přístroj putuje se substrátem inertní plynovou zónou a zaznamenává časový průběh.
Detektor je citlivý od 155 do 520 nm, přístroj je ale kalibrován pouze na 172 nm. Při 185 nm (nízkotlaké výbojky generující ozon) nebo 222 nm (KrCl excimer) poskytuje relativní hodnoty, nikoli metrologicky návaznou ozářenost; byla by nutná kalibrace specifická pro daný zdroj, kterou Opsytec na vyžádání ověří. Pro výbojky 222 nm se dále doporučuje spektroradiometr, například SR900, k posouzení vedlejších emisí v UVC.
Kalibrační list uvádí rozšířenou nejistotu kalibrace s k = 2; u tinyTracker 172 nm je to typicky 4,5–6,0 %. Při použití je měřicí nejistota vyšší, protože se k ní přičítá spektrální neshoda u skutečně použitého zdroje, teplota senzoru, stárnutí a měřicí geometrie. Jak se tyto vlivy spojují do rozpočtu nejistot, vysvětluje stránka Nejistota měření v UV metrologii.
Downloads
Katalogové listy jsou k dispozici v němčině a angličtině. Závazná je anglická verze.
