tinyTracker 172 nm: 172 nm 제논 엑시머 방사선의 정밀 측정을 위한 밴드 복사계
tinyTracker 172는 172 nm에서 제논 엑시머 램프의 복사조도 및 조사량 측정을 위한 교정된 벨트 복사계입니다. SiC 광검출기는 PTB에서 교정되었으며 155 nm~520 nm 범위에서 감도를 가지고, 측정 범위는 0–200 mW/cm²입니다. 높이 10 mm의 이 장비는 조사 채널을 통과하면서 최대 3시간 동안 1~100 Hz로 기록하며, 불활성 가스 분위기에서도 사용할 수 있습니다.
제논 엑시머 램프는 새롭고 자원 절약적이며 더 효율적인 생산 방식을 가능하게 합니다. 표면 처리 분야에서 매트화, 세정, 표면 활성화 또는 광개시제 소비 감소를 위해 사용됩니다.
이를 위해 172 nm 부근의 협대역 스펙트럼이 불활성 가스 조건에서 조사하는 데 일반적으로 사용됩니다. 그러면 높은 광자 에너지가 거의 모든 유기 화합물을 분해하기에 충분합니다.
172 nm(VUV)의 측정은 공정 제어 및 최적화를 위한 중요한 요소입니다.
tinyTracker 172를 통해 불활성 분위기에서 사용하기에 적합한 교정된 밴드 복사계를 제공합니다. tinyTracker 172는 절대 교정되어 있으며 172 nm에서 직접 제논 엑시머 램프의 복사조도 및 조사량을 측정합니다.
특히 얇은 설계 덕분에 tinyTracker 172는 UV 벨트 건조기 및 기타 산업 장비의 조사 채널을 통과하여 안내될 수 있습니다.
조정 가능한 최소 복사조도를 초과하면 값 기록이 자동으로 시작됩니다. 내장된 광검출기는 PTB에서 교정됩니다.
데이터는 교체 가능한 SD 카드에 기록되며 USB를 통해 PC로 전송됩니다.
평가 및 데이터 내보내기는 tinytracker 172용 PC 소프트웨어로 편리하게 수행됩니다.
리튬이온 배터리는 최대 3시간의 기록 시간을 보장합니다. 리튬이온 배터리는 USB 인터페이스를 통해 직접 충전할 수 있습니다. 추가 전원 공급 장치가 포함되어 있습니다.
제논 엑시머 램프용 tinyTracker 172의 주요 특징
- VUV 방사선을 위한 교정된 광검출기
- 172 nm 방사선 측정에 이상적
- 단 10 mm의 낮은 높이
- 초당 최대 100회 측정의 빠른 데이터 기록
172 nm에서의 측정이 거리, 분위기 및 창 재질에 따라 어떻게 달라지는지는 172 nm VUV 방사선 측정 페이지에서 설명합니다.
| 제품 유형 | 자외선(UV) 측정기: 불활성 기체 내 172 nm 제논 엑시머 램프용 VUV 공정 선량계 |
| 분광 범위 | 172 nm(공칭 파장) |
| 측정 범위 | 0~200 mW/cm² |
| 교정 불확도(typ.) | 4.5~6.0 %(k = 2) |
| 출력/인터페이스 | 인터페이스: Mini-USB 2.0 |
| 시간 분해능 | 기록 주파수: 1~100 Hz, 조정 가능 |
| 교정 | 재교정 가능 |
| 표준/지침 | 제품별 표준 없음; DIN EN ISO/IEC 17025:2018에 따른 교정 가능 |
| 적합 분야 | 전자 및 반도체; 광학 및 정밀 부품; 자동차 |
| 부적합 분야 | 분광 분해 측정(피크 파장, 대역폭); 200 mW/cm² 초과 복사조도(표준 범위); 60 °C 초과 센서 온도; 수중 또는 가압 환경에서의 사용 |
| 데이터시트 개정 | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
위에 명시된 교정 불확도는 교정의 확장 불확도(k = 2, 신뢰수준 약 95%)이며, 교정 광원 및 교정 조건에 적용됩니다. 실제 사용 시에는 측정 불확도가 더 커지는데, 실제 사용하는 광원에서의 분광 부정합, 센서 온도, 교정 이후의 노화, 그리고 광원까지의 거리 및 정렬 상태가 추가로 영향을 미치기 때문입니다. 이러한 요소들이 어떻게 결합되어 불확도 산정에 반영되는지는 자외선(UV) 측정에서의 측정 불확도에서 설명합니다.
tinyTracker 172 nm을(를) 3D 모델로 보기
데이터 로거를 모든 방향에서 살펴보고, 브라우저에서 직접 회전 및 확대/축소할 수 있습니다.
tinyTracker 172 nm은 3D 제품 뷰어에서 모든 방향으로 살펴보실 수 있습니다. CAD 설계 데이터로 생성되어 실물과 동일합니다. 전체 높이가 10 mm이고 불활성 기체 분위기에서 작동하기 때문에, 장비가 조사(照射) 채널을 통과할 수 있는지는 밀리미터 단위로 결정됩니다. 입체 보기는 이를 그림보다 더 명확하게 보여 줍니다.
자주 묻는 질문: tinyTracker 172 nm
172 nm에서 방사하는 제논 엑시머 램프는 진공자외선(VUV) 영역에서 방사하며, 이는 공기 중에서 수 밀리미터 이내에 흡수됩니다. 200–280 nm용 필터를 사용하는 표준 UVC 센서는 이 파장을 감지하지 못합니다. tinyTracker 172 nm는 172 nm에서 교정되며, 검출기는 155~520 nm 범위에서 감도를 가지고 질소 또는 불활성 가스 분위기에서 측정하기 위해 램프 바로 아래에 배치됩니다. 측정 범위는 0–200 mW/cm²입니다.
대표적인 공정으로는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서의 표면 활성화 및 세정, 접착 또는 코팅 전처리, 엑시머 램프를 이용한 코팅층의 무광 처리 등이 있습니다. 모든 경우에 공정을 결정하는 것은 기판에서의 조사량(mJ/cm²)이므로 이를 측정합니다. 측정기기는 기판과 함께 불활성 가스 구역을 통과하면서 시간 프로파일을 기록합니다.
검출기는 155~520 nm 범위에서 감도를 가지지만, 측정기기는 172 nm에서만 교정되어 있습니다. 185 nm(오존 발생형 저압 램프) 또는 222 nm(KrCl 엑시머)에서는 소급 가능한 복사조도가 아닌 상대값만 제공하며, 광원별 교정이 필요합니다. 이는 Opsytec에서 요청 시 확인해 드립니다. 222 nm 램프의 경우 UVC 영역의 부수 방사를 평가하기 위해 SR900과 같은 분광복사계의 사용도 권장됩니다.
교정 성적서에는 k = 2일 때의 확장 교정 불확도가 기재되어 있으며, tinyTracker 172 nm의 경우 일반적으로 4.5–6.0 %입니다. 실제 사용 시에는 실제 사용되는 광원과의 분광 불일치, 센서 온도, 노화, 측정 기하학적 요인이 추가되어 측정 불확도가 더 커집니다. 이러한 요소들이 어떻게 결합되어 불확도 산정에 반영되는지는 자외선(UV) 측정의 측정 불확도에서 설명합니다.
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