UV AOP 챔버 BS-OX: 185 nm와 오존을 이용한 광화학적 표면 세정
BS-OX는 광화학적 표면 세정, 오존 처리 및 정밀한 접촉각 조정을 위한 UV AOP 조사 챔버입니다. 이 장치는 유기 오염물을 제거하고 표면 에너지를 높여, 부품을 접착, 코팅 또는 인쇄하기 전에 습식 화학적 전처리 없이도 표면을 준비합니다. 일반적으로 1 % 산소 농도의 저산소 분위기에서 185 nm는 오존과 활성산소종을 생성하여 잔류물을 산화시키며, 254 nm는 소독 및 직접 광분해를 담당합니다. 8개의 UVC 램프는 무오존형, 오존 발생형 또는 혼합형(4+4)으로 장착할 수 있습니다.
저산소 분위기에서 185 nm UVC를 이용한 광화학적 세정 및 활성화는 오존 형성과 활성산소종 생성으로 이어집니다. 이들은 유기 오염물을 효율적으로 산화시키고 표면 에너지를 높입니다. 그 결과 습윤성이 향상되고 접촉각이 재현성 있게 감소합니다. 185 nm UVC, 오존, 라디칼의 이러한 상호작용은 고급산화공정(AOP)에 해당하며, 이것이 바로 UV AOP 챔버라는 명칭의 유래입니다.
동시에 이 자외선(UV)은 예를 들어 유기 화합물을 분해할 수 있을 만큼 충분한 에너지를 가지고 있습니다.
185 nm 스펙트럼은 오존 및 라디칼 생성뿐만 아니라 유기 잔류물의 직접 광분해에도 사용됩니다.
이러한 메커니즘의 원리는 UVC를 이용한 표면 세정 및 활성화에서 설명하고 있습니다.
254 nm 파장은 소독이나 코팅 공정을 위한 전처리와 같은 전형적인 UVC 공정에도 사용할 수 있습니다.
BS-OX는 8개의 무오존형 또는 오존 발생형 UVC 램프로 작동할 수 있습니다. 4+4 비율의 혼합 구성을 통해 오존을 포함하거나 포함하지 않는 공정 분위기에서 선택적으로 작동할 수 있어, 세정, 산화 및 표면 활성화를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
모든 내부 표면은 코팅되지 않은 금속과 석영 유리로 제작되었습니다. 유기 코팅이나 폴리머 기반 보호층은 전혀 사용하지 않습니다. 이를 통해 185 nm/254 nm 조사(照射) 시 분해 생성물이나 아웃가싱이 발생하지 않습니다. 그 결과 표면 세정, 오존 처리 및 재현성 있는 접촉각 변화를 위한 안정적인 경계 조건을 갖춘 공정 챔버가 완성됩니다.
BS-OX는 유기 잔류막, 포토레지스트 잔류물 또는 흡착물이 부품의 기능성을 제한하는 산업 및 과학 응용 분야를 위해 설계되었습니다.
AOP 챔버 BS-OX의 응용 분야
- 접착, 밀봉 또는 코팅 전 폴리머, 유리, 세라믹 및 금속 표면의 활성화
- 광학 부품, 웨이퍼, 마이크로칩 및 필터의 세정 및 이후 극성 표면적 증가
- 마이크로플루이딕스, 의료 기술 및 센서 기술을 위한 접촉각 및 표면 에너지 조정
- 냄새 또는 색상 유발 유기 오염물의 살균 및 분해
185 nm 및 254 nm에서의 이중 조사(照射)를 통해 광분해와 후속 오존/산화 & 라디칼 반응에 의한 유기 잔류물의 안정적인 분해가 가능합니다.
동시에 표면의 극성 부분이 증가하여 습윤성과 접촉각이 결정됩니다.
검증된 BS 조사 챔버 플랫폼을 기반으로, 넉넉한 내부 치수를 갖춘 균일하고 고성능인 UVC 시료 챔버를 제공합니다. 짧은 공정 시간, 적당한 시료 온도, 그리고 유연한 램프 구성은 BS-OX를 연구, 개발 및 생산, 특히 반도체 및 광학 제조 분야뿐만 아니라 최신 소재의 표면 전처리 분야에서도 견고한 시스템으로 자리매김하게 합니다.
AOP 챔버 BS-OX 기술 데이터
| 내부 챔버 | 50 × 30 × 25 cm |
| 챔버 치수 | 81 × 59 × 63 cm |
| UV-MAT 치수 | 19 × 25 × 10 cm |
| 무게 | ~ 60 kg |
| 조사 시간 | 1 s~999 days |
| 소비 전력 | 225 W |
| 상용 전원 | 230 VAC, 2 A |
| 동작 온도 | 10~40 °C |
| 습도 | < 80% 비결로 |
| 램프 수명 | 최대 8,000 h |
| 램프 수 | 8 |
| 램프 종류 | UVC, 오존 발생형; 또는 무오존형 |
| 램프 출력 | 각 20 W |
| 시료 온도 | 25 °C ± 5 °C |
| 가스 입구 / 가스 출구 | 10 mm 호스 직경용 Festo QSK-G1/4-10 |
| 배기 | 주름 금속 호스 및 적절한 배기 처리 장치용 DN 100 커넥터 |
| 분류 | DIN EN 12198:2000에 따른 그룹 0 |
BS-OX의 오존 및 배기에 관한 자주 묻는 질문
아니요. 조사(照射)가 진행되는 동안 BS-OX의 도어는 잠겨 있습니다. 조사(照射)가 종료된 후에도 도어는 즉시 열리지 않습니다: 내장된 퍼지 제어부가 먼저 지정된 퍼지 및 배기 단계를 수행한 다음에야 도어의 잠금을 해제합니다. 이를 통해 오존 프로세스 직후 챔버가 열려 작업자가 잔류 오존에 노출되는 상황을 방지합니다.
5분 정도를 예상하십시오. 실제로 잔류하는 오존 농도는 혼합, 로드 및 초기 농도에 따라 달라지며, 이는 작업자의 위험성 평가의 일환으로 판단되어야 합니다.
닫힌 챔버 내부의 오존 농도를 연속적으로 측정하는 것은 표준 BS-OX에 포함되어 있지 않습니다. 실제 존재하는 농도는 여러 프로세스 매개변수에 따라 달라집니다: 램프 구성(오존 발생형, 무오존형 또는 혼합 4+4), 조사(照射) 시간, 산소 농도, 공기 흐름 및 챔버 내부에서 일어나는 산화 반응입니다. 또한 산소 및 오존 센서는 비교적 빠르게 노화되어 약 6개월마다 교정해야 하므로, 영구적으로 설치된 측정 장치는 지속적인 유지보수 부담을 발생시킵니다. 실무적으로는 프로세스 매개변수를 일정하게 유지함으로써 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
BS-OX에는 DN 100 연결부가 있으며, 적절한 배기 또는 배기 처리 장치에 연결하도록 되어 있습니다. l/min 단위로 일반적으로 유효한 최소 또는 최대 체적유량을 지정하는 것은 특정 설치 상황과 의도된 프로세스에 따라 달라지므로 합리적이지 않습니다. 배기의 지침 값으로는 분당 챔버 부피 1회, 즉 약 40 l/min 또는 2.4 m³/h를 기준으로 삼으십시오. 중요한 것은 효과의 방향입니다: 조사(照射) 중 높은 지속적 공기 교환은 챔버 내부의 오존 농도를 낮추어 프로세스를 약화시키는 반면, 퍼지 단계에서는 높은 체적유량이 바람직합니다.
두 가지 조사 제어 방식 비교
| 기능 |  |  |
|---|---|---|
| 디스플레이 | 정전식 터치 디스플레이 | 단색, 128 x 64 px |
| 메모리 | USB 메모리 | – |
| 시간 제어 조사(照射) | 지원 | 지원 |
| 측정값 기록 | 지원 | – |
| 스크린샷을 USB 메모리에 저장 | 지원 | – |
| 조사(照射) 일시정지 및 재시작 | 지원 | – |
| 조사(照射)에 메모 및 코멘트 추가 | 지원 | – |
| PC를 통한 원격 제어 | 지원 | – |
| 조사(照射) 기록 | USB 메모리에 저장 | PC에 저장 |
| 사용자 관리 및 관리자 모드 | 지원 | – |
| 간편한 펌웨어 업그레이드 | 지원 | 지원 |
두 컨트롤러 모두 동일한 센서를 사용하므로, 하나의 센서를 두 장치 중 어느 것과도 함께 사용할 수 있습니다.
UV-MAT Touch는 고해상도 정전식 터치스크린으로 조작합니다. Cortex ARM 프로세서가 내구성과 업데이트 기능을 제공하여, 새로운 기능을 현장에서 설치할 수 있습니다. 이 장치와 PC 소프트웨어는 Windows 10 및 11과 호환됩니다. 단일 채널 및 다채널 조사(照射)는 오실로그램 및 설정값과 함께 수치와 그래픽으로 표시됩니다. 매개변수는 장치에서 직접 설정하며 비밀번호로 보호됩니다.
주문 번호, 공급 범위, 액세서리 및 버전
| 버전 | 주문 번호 |
|---|---|
| BS-OX | 860950 |
185 nm에서 챔버는 오존을 발생시켜 표면을 세정하며, 254 nm 조사(照射)는 추가로 미생물 부하를 감소시킵니다. 공급 범위에는 BS-OX, UV-MAT, 전원 케이블, 사용 설명서 및 UVC 램프가 포함되며, 별도로 명시되지 않는 한 오존 발생형입니다.
| 버전 | 주문 번호 |
|---|---|
| UV-MAT Touch | 820930ox |
| UV-MAT | 820920ox |
챔버는 UV-MAT로 제어되며, 그래픽 디스플레이가 있는 UV-MAT 또는 5인치 터치 디스플레이와 오실로스코프 뷰가 있는 UV-MAT Touch로 제공됩니다. 두 제품 모두 복사조도를 측정하며 조사량 제어에 따라 꺼집니다.
| 명칭 | 주문 번호 |
|---|---|
| UV-MAT Touch용 PC 소프트웨어 | 860901 |
| 명칭 | 주문 번호 |
|---|---|
| curelog ONE 조사량계 | 680001C |
UVC 버전의 curelog ONE은 챔버 내부의 복사조도와 조사량을 기록합니다. 이는 자체 제품 페이지를 가진 독립적인 측정 장치입니다. 램프 강도와 노화를 확인하기 위해서는 다음과 같은 무선 기기를 추천합니다: 복사조도를 기록하며 주기적인 공정 모니터링에 사용할 수 있습니다.
| 서비스 | 주문 번호 |
|---|---|
| 공장 교정 | 710000 |
| ISO 17025 교정 | 17025 |
당사 자체 교정기관에서 ISO/IEC 17025에 따른 공인 교정을 실시합니다. 교정은 공장 교정 및 ISO 17025 교정으로 제공되며, PTB 표준에 대해 측정 소급성이 보장됩니다.
