tinyTracker 172 nm: 172 nm ksenon eksimer ışınımının hassas ölçümü için bant radyometresi
tinyTracker 172, 172 nm'de ksenon eksimer lambalarda irradyans ve doz ölçümü için kalibre edilmiş bir bant radyometresidir. SiC fotodedektörü PTB tarafından kalibre edilmiştir ve 155 nm ila 520 nm arasında hassastır; ölçüm aralığı 0–200 mW/cm²'dir. 10 mm yükseklikte cihaz ışınlama kanallarından geçer ve inert gaz atmosferi altında dahil olmak üzere 1 ila 100 Hz'de üç saate kadar kayıt yapar.
Ksenon eksimer lambalar, kaynak tasarrufu sağlayan ve daha verimli yeni üretim olanakları sunar. Yüzey işleme alanında matlaştırma, temizleme, yüzey aktivasyonu veya fotobaşlatıcı tüketimini azaltmak için kullanılırlar.
Bu amaçla, inert gaz koşulları altında ışınlama için genellikle 172 nm civarındaki dar bant spektrum kullanılır. Bu durumda yüksek foton enerjisi, neredeyse tüm organik bileşikleri parçalamak için yeterlidir.
172 nm'nin (VUV) ölçümü, proses kontrolü ve optimizasyonu için önemli bir bileşendir.
tinyTracker 172 ile inert bir atmosferde kullanıma uygun, kalibre edilmiş bir bant radyometresi sunuyoruz. tinyTracker 172 mutlak olarak kalibre edilmiştir ve ksenon eksimer lambaların irradyansını ve ışınlama dozunu doğrudan 172 nm'de ölçer.
Özellikle ince tasarımı sayesinde tinyTracker 172, UV bant kurutucularının ve diğer endüstriyel ekipmanların ışınlama kanallarından geçirilebilir.
Değerlerin kaydı, ayarlanabilir bir minimum irradyans aşıldığında otomatik olarak başlar. Dahili fotodedektör PTB tarafından kalibre edilmiştir.
Veriler değiştirilebilir bir SD kartına kaydedilir ve USB üzerinden bilgisayara aktarılır.
Değerlendirme ve veri dışa aktarma işlemleri, tinytracker 172 için PC yazılımı ile kolayca gerçekleştirilir.
Li-Ion pil, 3 saate kadar kayıt süresi sağlar. Li-ion pil, USB arayüzü üzerinden doğrudan şarj edilebilir. Ek bir güç kaynağı ünitesi dahildir.
Ksenon Eksimer Lambalar için tinyTracker 172'nin Öne Çıkan Özellikleri
- VUV ışınımı için kalibre edilmiş fotodedektör
- 172 nm ışınımın ölçümü için ideal
- Sadece 10 mm'lik düşük yükseklik
- Saniyede 100 ölçüme kadar hızlı veri kaydı
172 nm'de ölçümün mesafeye, atmosfere ve pencere malzemesine neden bağlı olduğu 172 nm VUV ışınımının ölçülmesi sayfasında açıklanmaktadır.
| Ürün tipi | UV ölçüm cihazı: İnert gaz içinde 172 nm ksenon eksimer lambalar için VUV proses dozimetresi |
| Spektral aralık | 172 nm (nominal dalga boyu) |
| Ölçüm aralığı | 0–200 mW/cm² |
| Kalibrasyon belirsizliği (tipik) | %4,5–6,0 (k = 2) |
| Çıkış / arayüz | Arayüz: Mini-USB 2.0 |
| Zaman çözünürlüğü | Kayıt frekansı: 1–100 Hz, ayarlanabilir |
| Kalibrasyon | yeniden kalibre edilebilir |
| Standartlar / yönergeler | ürüne özel standart yoktur; DIN EN ISO/IEC 17025:2018'e göre kalibrasyon mevcuttur |
| Uygun kullanım alanları | Elektronik ve yarı iletkenler; Optik ve hassas bileşenler; Otomotiv |
| Uygun olmayan kullanım alanları | spektral çözünürlüklü ölçüm (tepe dalga boyu, bant genişliği); 200 mW/cm² üzerindeki irradyans (standart aralık); 60 °C üzerindeki sensör sıcaklıkları; su altında veya basınç altında kullanım |
| Veri sayfası revizyonu | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
Yukarıda belirtilen kalibrasyon belirsizliği, kalibrasyonun genişletilmiş belirsizliğidir (k = 2, güven düzeyi yaklaşık %95) ve kalibrasyon kaynağı ile kalibrasyon koşullarına uygulanır. Kullanım sırasında ölçüm belirsizliği daha büyüktür: gerçekte kullanılan kaynaktaki spektral uyumsuzluk, sensör sıcaklığı, kalibrasyondan itibaren geçen süredeki yaşlanma ve kaynağa olan mesafe ile hizalama buna eklenir. Bunların bir belirsizlik bütçesinde nasıl birleştirildiği UV ölçümünde ölçüm belirsizliği başlığı altında açıklanmaktadır.
tinyTracker 172 nm'yi 3D model olarak görüntüleyin
Veri kaydediciyi her yönden inceleyin, döndürün ve yakınlaştırın – doğrudan tarayıcınızda.
tinyTracker 172 nm, 3D ürün görüntüleyicide her yönden görüntülenebilir – CAD tasarım verilerinden üretilmiş, orijinaline sadık şekilde. 10 mm'lik toplam yükseklikte ve inert gaz atmosferi altında çalışırken, her milimetre cihazın ışınlama kanalından geçip geçemeyeceğine karar verir – uzamsal görünüm bunu bir rakamdan daha açık şekilde gösterir.
Xenon eksimer lambalar için tinyTracker 172 teknik verileri
| Ölçüm aralığı | 0–200 mW/cm² |
| Çözünürlük | 12 bit |
| Kayıt süresi | 3 saate kadar |
| Örnekleme frekansı | 1–100 Hz, ayarlanabilir |
| Fotodetektör | SiC |
| Spektral hassasiyet | 155 ila 520 nm |
| Boyutlar | 195 × 79 × 10 mm |
| İzin verilen çalışma sıcaklığı | 60 °C |
| Besleme voltajı | 5 V DC |
| Güç kaynağı | Li-ion pil, 1250 mAh |
| Arayüz | Mini-USB 2.0 |
| Sistem gereksinimleri | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Sık sorulan sorular: tinyTracker 172 nm
172 nm'deki ksenon eksimer lambalar, havada birkaç milimetre içinde soğurulan vakum UV'de ışıma yapar; 200–280 nm için filtreli standart UVC sensörleri bu dalga boyunu algılayamaz. tinyTracker 172 nm, 172 nm'de kalibre edilmiştir, dedektörü 155 ila 520 nm arasında hassastır ve azot veya inert gaz atmosferinde ölçüm için lambanın doğrudan altına konumlandırılır. Ölçüm aralığı 0–200 mW/cm²'dir.
Tipik süreçler, yarı iletken ve ekran üretiminde yüzey aktivasyonu ve temizleme, yapıştırma veya kaplama öncesi ön işlem ve eksimer lambalarla kaplamaların matlaştırılmasıdır. Tüm bu durumlarda substrat üzerindeki mJ/cm² cinsinden doz belirlenir çünkü süreci tanımlayan değer bu dozdur; cihaz substratla birlikte inert gaz bölgesinden geçer ve zaman profilini kaydeder.
Dedektör 155 ila 520 nm arasında hassastır, ancak cihaz yalnızca 172 nm'de kalibre edilmiştir. 185 nm'de (ozon üreten düşük basınçlı lambalar) veya 222 nm'de (KrCl eksimer) izlenebilir irradyans değil, bağıl değerler verir; kaynağa özel bir kalibrasyon gerekir ve Opsytec bunu talep üzerine kontrol eder. 222 nm lambalar için UVC'deki yan emisyonları değerlendirmek amacıyla SR900 gibi bir spektroradyometre de önerilir.
Kalibrasyon sertifikası, k = 2 ile genişletilmiş kalibrasyon belirsizliğini belirtir; tinyTracker 172 nm için bu değer tipik olarak %4,5–6,0'tır. Kullanım sırasında ölçüm belirsizliği daha büyüktür, çünkü fiilen kullanılan kaynaktaki spektral uyumsuzluk, sensör sıcaklığı, yaşlanma ve ölçüm geometrisi buna eklenir. Bunların bir belirsizlik bütçesinde nasıl birleştiği UV Ölçümünde Ölçüm Belirsizliği altında açıklanmaktadır.
Downloads
Teknik veri sayfaları Almanca ve İngilizce olarak mevcuttur. Bağlayıcı olan İngilizce sürümdür.
