UV AOP 照射腔室 BS-OX：以 185 nm 與臭氧進行光化學表面清潔
BS-OX 是一款用於光化學表面清潔、臭氧處理及目標接觸角改質的 UV AOP 照射腔室。它能在零件進行黏接、塗佈或印刷之前，去除有機污染物並提升表面能，而無需濕式化學前處理。在典型含氧量 1 % 的低氧環境中，185 nm 會產生臭氧與活性氧物種以氧化殘留物；254 nm 則涵蓋消毒與直接光解。可依需求安裝 8 支 UVC 燈管，型式可為無臭氧型、產生臭氧型，或混合配置（4+4）。
在低氧環境中以 185 nm UVC 進行光化學清潔與活化，會產生臭氧並生成活性氧物種。這些物質能有效氧化有機污染物並提升表面能，從而改善潤濕性，並可重現地降低接觸角。185 nm UVC、臭氧與自由基之間的這種交互作用即為一種先進氧化程序（AOP）——這正是「UV AOP 照射腔室」名稱的由來。
同時，此紫外線輻射的能量足以分解有機化合物，例如。
185 nm 光譜可用於臭氧與自由基生成，以及有機殘留物的直接光解。
其背後機制說明於 以 UVC 進行表面清潔與活化。
254 nm 波長亦可用於典型的 UVC 製程，例如消毒與塗佈製程的前處理。
BS-OX 可搭配 8 支無臭氧型或產生臭氧型 UVC 燈管運作。以 4+4 比例混合配置時，可選擇於含臭氧或無臭氧的製程環境下運作，從而支援對清潔、氧化及表面活化的精確控制。
所有內部表面皆由未鍍層金屬與石英玻璃製成，完全不使用有機塗層或高分子基保護層。這表示在 185 nm/254 nm 照射下，不會產生降解產物，也不會出現逸氣現象。因此，此製程腔室能為表面清潔、臭氧處理及可重現的接觸角變化，提供穩定的邊界條件。
BS-OX 專為工業與科學應用而設計，適用於有機殘留薄膜、光阻殘留物或吸附物限制元件功能性的場合。
AOP 反應腔室 BS-OX 之應用領域
- 於黏接、密封或塗層前，對聚合物、玻璃、陶瓷及金屬表面進行活化處理
- 清潔光學元件、晶圓、微晶片及濾光片，並隨後提升其極性表面積
- 調整微流體技術、醫療技術及感測器技術所需之接觸角與表面能
- 對具氣味或色澤活性之有機污染物進行滅菌與分解
AOP 照射腔室 BS-OX 技術資料
| 內部腔室 | 50 × 30 × 25 cm |
| 尺寸，腔室 | 81 × 59 × 63 cm |
| 尺寸，UV-MAT | 19 × 25 × 10 cm |
| 重量 | ~ 60 kg |
| 照射時間 | 1 s 至 999 天 |
| 消耗功率 | 225 W |
| 市電電源 | 230 VAC, 2 A |
| 操作溫度 | 10 至 40 °C |
| 濕度 | < 80% 不凝結 |
| 燈管壽命 | 最高 8,000 h |
| 燈管數量 | 8 |
| 燈管類型 | UVC，產生臭氧型；亦可選用無臭氧型 |
| 燈管功率 | 各 20 W |
| 樣品溫度 | 25 °C ± 5 °C |
| 氣體入口 / 氣體出口 | Festo QSK-G1/4-10，適用於 10 mm 軟管直徑 |
| 排氣 | DN 100 接頭，適用於金屬波紋軟管及合適的排氣處理裝置 |
| 分類 | 依據 DIN EN 12198:2000 之 Group 0 |
BS-OX 臭氧與排氣常見問題
不可以。在照射進行期間，BS-OX 的門會保持鎖定。照射結束後，門並不會立即釋放：內建的排氣控制系統會先執行規定的排氣與抽取階段，之後才會解鎖門。這樣可避免操作人員在臭氧程序結束後立即打開照射腔室，暴露於仍殘留的臭氧中。
請預留 5 分鐘。實際殘留的臭氧濃度取決於混合情況、負載及初始濃度，應作為操作人員風險評估的一部分加以評估。
在密閉照射腔室內連續量測臭氧濃度並非標準 BS-OX 的功能。實際存在的濃度取決於多項程序參數：燈管配置（產生臭氧型、無臭氧型或混合式 4+4）、照射時間、氧氣濃度、氣流以及照射腔室內發生的氧化反應。此外，氧氣與臭氧感測器老化速度相對較快，約每 6 個月須校正一次──因此永久安裝的量測裝置會產生持續的維護負擔。實務上，藉由保持程序參數恆定即可獲得可重現的結果。
BS-OX 具有 DN 100 接頭，設計用於連接至適當的排氣或排氣處理設備。由於實際情況取決於個別安裝方式及預定的程序，因此無法給出一個普遍適用的最小或最大體積流量（以 l/min 表示）。作為抽取的參考值，可假設每分鐘抽取一個照射腔室容積，約為 40 l/min 或 2.4 m³/h。重要的是效應的方向：照射期間持續的高換氣量會降低照射腔室內的臭氧濃度，從而削弱程序效果；而在排氣階段則希望有較高的體積流量。
兩種輻射照射控制方式比較
| 功能 |  |  |
|---|---|---|
| 顯示器 | 電容式觸控顯示器 | 單色，128 x 64 px |
| 記憶體 | USB 隨身碟 | – |
| 定時控制照射 | 是 | 是 |
| 量測值記錄 | 是 | – |
| 螢幕截圖可儲存至 USB 隨身碟 | 是 | – |
| 暫停與重新啟動照射 | 是 | – |
| 為照射作業新增註記與備註 | 是 | – |
| 透過電腦遠端控制 | 是 | – |
| 照射記錄 | 儲存於 USB 隨身碟 | 儲存於電腦 |
| 使用者管理與管理員模式 | 是 | – |
| 簡易韌體升級 | 是 | 是 |
兩款控制器皆使用相同的感測器，因此同一個感測器可搭配任一裝置使用。
UV-MAT Touch 透過高解析度電容式觸控螢幕操作。Cortex ARM 處理器提供了耐用性與可更新的能力——新功能可在現場安裝。此裝置與 PC 軟體皆與 Windows 10 及 11 相容。單通道與多通道照射會以數字及圖形方式顯示，並同時顯示振盪圖與設定值。參數可直接在裝置上設定，並受密碼保護。
訂購型號、供貨範圍、配件及版本
| 版本 | 訂購編號 |
|---|---|
| BS-OX | 860950 |
此腔室在 185 nm 波長下產生臭氧並用以清潔表面；254 nm 輻射則能進一步降低微生物負載。交貨範圍包含 BS-OX、UV-MAT、市電電源線、操作手冊，以及紫外線 C 燈管（除另有說明外，均為產生臭氧型）。
| 版本 | 訂購號碼 |
|---|---|
| UV-MAT Touch | 820930ox |
| UV-MAT | 820920ox |
該腔室由 UV-MAT 控制 - 可選擇配備圖形顯示幕的 UV-MAT，或配備 5 英吋觸控顯示幕與示波器檢視功能的 UV-MAT Touch。兩者皆可量測輻照度，並依劑量控制自動關閉。
| 名稱 | 訂購號 |
|---|---|
| UV-MAT Touch 電腦軟體 | 860901 |
| 名稱 | 訂購編號 |
|---|---|
| curelog ONE 劑量計 | 680001C |
UVC 版本的 curelog ONE 可記錄照射腔室內的輻照度與劑量。它本身即是一款獨立的量測裝置，並擁有專屬的產品頁面。若要檢查燈管強度與老化情形，本公司建議使用這些無線儀器：它們可記錄輻照度，並可用於週期性製程監控。
| 服務項目 | 訂購編號 |
|---|---|
| 原廠校正 | 710000 |
| ISO 17025 校正 | 17025 |
於本公司自有校正實驗室提供符合 ISO/IEC 17025 之認證校正服務。校正服務可選擇原廠校正或 ISO 17025 校正，並具備可追溯至 PTB 標準之計量溯源性。
