UV AOP辐照箱 BS-OX:采用185 nm和臭氧的光化学表面清洁
BS-OX是一种用于光化学表面清洁、臭氧处理和定向接触角调整的UV AOP辐照箱。它可在零件粘接、涂覆或印刷之前,无需湿化学预处理,即可去除有机污染物并提高表面能。在氧含量通常为1%的低氧环境中,185 nm可生成臭氧和活性氧物种,从而氧化残留物;254 nm则用于消毒和直接光解。八根UVC灯管可配置为无臭氧型、产臭氧型或混合型(4+4)。
在低氧环境中使用185 nm UVC进行光化学清洁和活化会导致臭氧形成并产生活性氧物种。这些活性氧物种能高效氧化有机污染物并提高表面能,从而改善润湿性并实现接触角的可重复降低。185 nm UVC、臭氧和自由基之间的这种相互作用属于高级氧化工艺(AOP)——因此得名UV AOP辐照箱。
同时,紫外辐射的能量足以分解有机化合物,例如。
185 nm光谱用于臭氧和自由基的生成,以及有机残留物的直接光解。
其基本机理见采用UVC进行表面清洁和活化。
254 nm波长还可实现经典的UVC工艺,例如消毒和涂覆工艺的预处理。
BS-OX可配备8根无臭氧型或产臭氧型UVC灯管运行。按4+4比例配置的混合方案可选择在含臭氧或无臭氧的工艺气氛下运行,从而实现对清洁、氧化和表面活化的精确控制。
所有内表面均由未涂层金属和石英玻璃制成,完全不使用有机涂层或聚合物基保护层。这意味着在185 nm/254 nm辐照下不会产生降解产物,也不会出现放气现象。由此形成了一个具有稳定边界条件的工艺箱,可用于表面清洁、臭氧处理和可重复的接触角变化。
BS-OX专为工业和科研应用而设计,适用于有机残留膜、光刻胶残留物或吸附物限制部件功能的场合。
AOP辐照箱BS-OX的应用领域
- 在粘接、密封或涂覆之前对聚合物、玻璃、陶瓷和金属表面进行活化处理
- 清洁光学元件、晶圆、微芯片和滤光片,并随后提高极性表面积
- 为微流控技术、医疗技术和传感器技术调整接触角和表面能
- 对具有气味或颜色活性的有机污染物进行灭菌和降解
BS-OX AOP 反应箱技术参数
| 箱内空间 | 50 × 30 × 25 cm |
| 箱体尺寸 | 81 × 59 × 63 cm |
| UV-MAT 尺寸 | 19 × 25 × 10 cm |
| 重量 | ~ 60 kg |
| 辐照时间 | 1 s~999 days |
| 功耗 | 225 W |
| 市电电源 | 230 VAC, 2 A |
| 工作温度 | 10~40 °C |
| 湿度 | < 80%,无冷凝 |
| 灯管寿命 | 最长 8,000 h |
| 灯管数量 | 8 |
| 灯管类型 | UVC,产臭氧型;也可选无臭氧型 |
| 灯管功率 | 各 20 W |
| 样品温度 | 25 °C ± 5 °C |
| 进气口/出气口 | Festo QSK-G1/4-10,适用于 10 mm 软管直径 |
| 排气 | DN 100 接口,用于连接波纹金属软管及合适的排气处理装置 |
| 分类 | 符合 DIN EN 12198:2000 标准的 0 组 |
关于BS-OX臭氧与排气的常见问题
不可以。辐照进行期间,BS-OX的舱门处于锁定状态。辐照结束后,舱门也不会立即释放:内置的吹扫控制装置会先执行规定的吹扫与排风阶段,然后才会解锁舱门。这样可以排除辐照工艺结束后立即打开腔室、操作人员暴露于残留臭氧中的情况。
请预留5分钟。实际残留的臭氧浓度取决于混合情况、负载和初始浓度,需由操作人员在风险评估中加以评估。
对封闭腔室内臭氧浓度进行持续测量并非BS-OX标准配置的一部分。实际存在的浓度取决于多个工艺参数:灯管配置(产臭氧型、无臭氧型或4+4混合型)、辐照时间、氧气浓度、气流以及腔室内发生的氧化反应。此外,氧气和臭氧传感器老化速度相对较快,大约每六个月就需要校准一次——因此永久安装的测量装置会带来持续的维护工作量。在实际应用中,通过保持工艺参数恒定即可获得可重复的结果。
BS-OX配有DN 100接口,用于连接合适的排气装置或排气处理设备。由于具体数值取决于实际安装情况和预期工艺,无法给出一个普遍适用的以l/min为单位的最小或最大体积流量。作为抽气的参考值,可按每分钟一个腔室容积计算,约为40 l/min,即2.4 m³/h。关键在于影响的方向:辐照期间较大的持续换气量会降低腔室内的臭氧浓度,从而削弱工艺效果,而在吹扫阶段则希望有较大的体积流量。
两种辐照控制方式对比
| 功能 | ![]() | ![]() |
|---|---|---|
| 显示屏 | 电容式触控显示屏 | 单色,128 x 64 px |
| 存储 | USB 存储盘 | – |
| 定时辐照 | 是 | 是 |
| 测量数据记录 | 是 | – |
| 可将屏幕截图保存到 USB 存储盘 | 是 | – |
| 可暂停并重新开始辐照 | 是 | – |
| 可为辐照添加注释和说明 | 是 | – |
| 可通过电脑远程控制 | 是 | – |
| 辐照记录 | 保存至 USB 存储盘 | 保存至电脑 |
| 用户管理与管理员模式 | 是 | – |
| 固件升级简便 | 是 | 是 |
两款控制器使用相同的传感器,因此同一传感器可与任一设备配合使用。

UV-MAT Touch 通过高分辨率电容式触摸屏进行操作。Cortex ARM 处理器确保了耐用性和可升级性——新功能可在现场安装。该设备及配套的 PC 软件均兼容 Windows 10 和 11。单通道和多通道辐照会以数字和图形方式显示,并配有示波图和相关设置。参数可直接在设备上设置,并受密码保护。
订购编号、供货范围、附件及型号
| 型号 | 订购号 |
|---|---|
| BS-OX | 860950 |
该箱体在185 nm波长下产生臭氧并利用其清洁表面;254 nm辐射还可进一步降低微生物负荷。供货范围包括BS-OX、UV-MAT、电源线、使用说明书以及UVC灯管——除非另有说明,均为产臭氧型。
| 版本 | 订货号 |
|---|---|
| UV-MAT Touch | 820930ox |
| UV-MAT | 820920ox |
该辐照箱由UV-MAT控制——既可选配带图形显示屏的UV-MAT,也可选配带5英寸触摸显示屏及示波器视图的UV-MAT Touch。两者均可测量辐照度,并在达到设定剂量后自动关闭。
| 名称 | 订购号 |
|---|---|
| UV-MAT Touch 电脑软件 | 860901 |
| 名称 | 订购号 |
|---|---|
| curelog ONE 剂量计 | 680001C |
UVC 版本的 curelog ONE 可记录箱内的辐照度和剂量。它本身就是一款独立的测量设备,并拥有自己的产品页面。若需检查灯管强度和老化情况,我们建议您使用这些无线仪器:它们可记录辐照度,并可用于循环工艺监控。
| 服务 | 订购号 |
|---|---|
| 出厂校准 | 710000 |
| ISO 17025校准 | 17025 |
我司在自有校准实验室内提供符合ISO/IEC 17025标准的认可校准服务。校准分为出厂校准和ISO 17025校准两种,均可追溯至PTB标准。


