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正確量測紫外線劑量與輻照度

輻照度與紫外線劑量描述的是紫外線製程中不同的特性。輻照度是每單位面積的瞬時輻射功率;而劑量——依標準術語稱為輻射曝露量——則是其對時間的積分。要獲得可靠的結果,光譜範圍、量測範圍、校正光源、量測距離與量測幾何配置都必須與應用相符。對於移動式製程,還須加上照射時間的變化曲線。

本頁將釐清各項物理量、說明影響量測結果的因素,並顯示哪一類儀器適用於哪種任務。特定儀器的選擇則於 紫外線計與輻射計 分類中說明。

輻照度、輻射曝露量與劑量

輻照度 E 是抵達表面的輻射功率,單位為 W/m²,或在紫外線工程中通常以 mW/cm² 表示。輻射曝露量 H 是其對時間的積分,單位為 J/m² 或 mJ/cm²。若輻照度隨時間保持恆定,則 H = E · t;若隨時間變化,則須對實際變化曲線進行積分。

在實務上,輻射曝露量通常被稱為「劑量」。此用語雖已被廣泛採用,卻並不精確:在水處理消毒領域中,輻射通量(fluence)指的是從所有方向抵達某體積元素的輻射;而在光生物學中,劑量還會依作用光譜(action spectrum)進行加權處理。因此,任何人在比較不同設備、供應商或測試報告之間的數值時,都應明確說明所指的是哪一物理量、哪一波長範圍,以及採用何種量測幾何配置。

物理量、單位與意義

物理量 單位 意義
輻照度 E W/m², mW/cm² 測量點在瞬間單位面積上的輻射功率
輻射曝露量 H(「劑量」) J/m², mJ/cm² 輻照度對時間之積分
光譜輻照度 E(λ) W/(m²·nm) 輻照度依波長之分佈
通量密度(Fluence) J/m² 自各方向到達一體積元素之輻射
有效輻照度 W/m² 以作用光譜(例如紅斑有效)進行光譜加權
光子通量密度(PPFD) µmol/(m²·s) 單位面積與時間內之光子數量,常用於光生物學

何者決定量測結果

量測值的可靠程度,取決於進行量測時的條件。共有五項因素會產生影響:

  • 光譜響應度。寬頻輻射計是以其感測器的響應度曲線來評估光源。若光源的光譜與校正用光源不同,便會發生光譜不匹配 —— 這是光源改變時系統性誤差最大的來源。
  • 量測幾何配置。面積光源或延伸光源的輻照度量測,需要具備餘弦校正輸入光學元件。若無餘弦校正,斜向入射的輻射將被低估。
  • 量測距離與量測平面。應在製程實際發生的位置量測 —— 即在元件或樣品所在平面,而非於自由光束中量測。對於點光源與聚光光源,輻照度會隨距離而劇烈變化。
  • 校正。校正必須符合所使用光源的光譜範圍、量測範圍,並盡可能匹配光源類型,且須以可追溯之方式記錄。
  • 量測範圍、線性度與溫度。極高的輻照度、脈衝式光源以及量測點處的高溫,都會限制可使用的感測器種類。

輻射計與紫外線感測器的校正由認證校正實驗室執行;相關流程說明請參閱紫外線校正。

靜態量測或製程中量測

當光源固定且工件固定時,僅需在工件平面上進行靜態輻照度量測即可;劑量可由輻照度與照射時間計算得出。然而,一旦工件或光源開始移動,工件處的輻照度便會隨時間而變化。此時必須記錄峰值輻照度、時間曲線以及由此積分而得的劑量——在燈具下方僅進行單次靜態讀值,並無法描述整個製程。

關於在輸送帶、印刷及連續通過式產線中應如何建置此類量測,請參閱頁面 輸送帶系統的紫外線量測。

哪種儀器適合哪種任務

  • 已知光譜的穩定光源、單點量測:使用已校正的寬頻輻射計,例如 RMD Pro 或 RM-12,並搭配符合光譜範圍的感測器。
  • 光源變化、LED 波長、老化研究:使用光譜量測型儀器,例如 UVpad、UVpad E 或 SR900,於實驗室中使用。
  • 製程運作中的劑量:使用扁平型記錄器,例如 curelog 或 tinyTracker,隨工件一起通過生產線。
  • 永久性廠區監控:使用永久安裝的 紫外線感測器,並搭配合適的評估電子裝置。

以上每一種組合皆適用同一原則:感測器、評估方式與校正必須與欲驗證的製程數值相符。針對量測任務的選型輔助,請參閱 UV 量測儀 分類,並於 光譜輻射計或寬頻輻射計 頁面中了解各儀器類型之間的區別。

紫外線輻照度與劑量常見問題

在紫外線系統上應監測哪個量值?
主要是最靠近製程之可及點的輻照度,單位為 W/m²,並由其求得作為時間積分的劑量,單位為 J/m²。換算方式:10 W/m² 相當於 1 mW/cm²。感測器與光源溫度也應一併監測。製程窗口必須以二維方式指定,兩個量值皆須有下限與上限。燈管的電功率並非製程的量測值。

在製程中的哪個位置進行量測?
應在零件或樣品所在的層面進行量測,也就是製程實際發生之處──而非自由光束中,亦非燈具外殼處。延伸型與面型光源需要具備餘弦修正型入射光學元件,否則斜向入射的輻射將被低估權重。對於點光源與聚光型光源而言,輻照度會隨距離劇烈變化;經驗法則為量測距離至少應為發光面最大尺寸的 10 倍。

紫外線系統的輻照度與太陽相比有多高?
參考基準為地面上的太陽輻射:在最佳條件下,總輻射量約為 1,000 W/m²,其中約 62 W/m² 為 UVA,5.6 W/m² 為 UVB。因此,一台輻照度為 80 W/m² 的 UVA 測試箱約為該值的 1.3 倍,而輻照度為 50 W/m² 的 UVB 測試箱則約為該值的 9 倍。UV LED 系統可達 8,000 W/m² 以上,約為太陽 UVA 輻照度的 130 倍。在 UVC 範圍內則無法進行比較,因為波長低於 280 nm 的輻射無法到達地球表面。每個此類倍數皆須附帶兩項進一步說明:其所指的光譜範圍,以及量測所在的量測平面──若缺少這兩項資訊,該數值便無法被驗證。

作者:Dr. Mark Paravia

Dr.-Ing. Mark Paravia 是位於 Ettlingen 的 Opsytec Dr. Gröbel GmbH 之總經理,並負責領導該公司已獲認證的校正實驗室。在 KIT 照明技術研究所完成脈衝氙激子放電相關研究後,他目前的專注領域為光學輻射量測。他現任 DIN 標準委員會 FNL 7「光學輻射」副主席,並為 DVGW 紫外線消毒專案小組之成員。