UVA、UVB 與 UVC LED:技術與量測
UVA、UVB 與 UVC LED 之間的差異不僅在於峰值波長。材料系統、效率、熱負載、光譜頻寬、老化情形以及可用光功率,皆會隨著 UV 範圍而顯著變化。因此,為了獲得可靠的應用,LED 數據必須在明確定義的電流與溫度條件下進行評估,並在使用現場輔以合適的輻射量測。
UV LED 是在鋁、鎵與銦的氮化物半導體中產生紫外線輻射。其組成決定了發射波長位於 UVA(315–400 nm)、UVB(280–315 nm)與 UVC(200–280 nm);常見的有 UVA 中的 365 nm 與 385 nm、UVB 中的 285 nm 與 295 nm,以及 UVC 中的 265 nm。個別 LED 類型的實測光譜可於紫外線燈與紫外線 LED 光譜資料庫下載。
歐盟 RoHS 指令對含汞燈管有所限制;目前的現況說明請參閱RoHS 與紫外線燈。Opsytec 因此所提供的儀器,請參閱紫外線 LED 光源。
紫外線發光二極體的生產
電磁輻射通常是在 III-V 半導體中產生,也就是由週期表中第三主族和第五主族元素所組成的半導體,而 UV LED 發射峰值的波長主要是由材料的固溶體組成所決定。
透過合金化半導體氮化鋁(AlN)、氮化鎵(GaN)與氮化銦(InN),可達成 UVA(400 nm 至 315 nm)、UVB(315 nm 至 280 nm)及 UVC(280 nm 至 200 nm)範圍內的發射波長。
UV LED 的生產包含多個步驟:
LED 異質結構與晶片佈局的設計、基板與底層的生長、半導體異質結構的磊晶、晶圓層級的 LED 元件加工,最後是將晶圓分割成 LED 晶片並將其組裝於封裝中。因此,UV LED 由數百層半導體層所組成,其組成與摻雜必須根據各自的功能性進行調整。
LED 的發射波長取決於產生紫外線輻射所在層的組成與摻雜。在所有步驟中,重要的是要有效地將電功率轉換為光輻射功率。插座效率(WPE)是應用上特別重要的參數。UV LED 的整體效率表示光輻射功率與所供應電功率之間的比率。
目前發射 UVA 的 UV LED 已達到約 30–40 % 的 WPE,而發射藍光的 LED 則已達到約 80 % 的極高 WPE。相較之下,發射低 UVB 及 UVC 範圍的 LED 其 WPE 明顯較低,僅低於 5 % 至 10 %。因此,UVB 與 UVC LED 持續受到優化與技術開發。因此,現有的 LED 型號在一段時間後必須被後續型號所取代。
UVA、UVB & UVC 用 UV LED 之比較
與較舊的 UV LED 相比,最新的 UVB 和 UVC LED 顯示出明顯較高的效率與改善的性能。較舊的 UV LED 常受到高操作溫度與快速劣化的困擾,而最新的發展已顯著改善此問題。目前一代的 UVB 與 UVC LED 採用先進的散熱技術、改良的半導體結構與光學耦合,不僅延長了使用壽命,也提高了效率。
UVB 與 UVC LED 目前尚未達到 UVA LED 的性能與輸出,但近年來已能顯著追趕上來。
UVB 與 UVC LED 以及 UVA LED 是由不同的基板並透過不同的磊晶製程所製造,這些製程專門針對所需的波長與性能要求進行調整。基板與磊晶方法的選擇對 LED 的效率、性能與成本有重大影響。
以下針對波長為 365 nm 與 385 nm 的 UVA LED,以及波長為 265 nm(UVC)、285 nm 與 295 nm(UVB)的短波長 LED 進行技術比較。此表格考量了效率、輸出、使用壽命及典型應用等一般參數。
| Parameters | UVA LED 365 nm | UVA LED 385 nm | UVC LED 265 nm | UVB LED 285 nm | UVB LED 295 nm |
| 峰值波長 | 365 nm | 385 nm | 265 nm | 285 nm | 295 nm |
| 光輸出功率 | 10~1000 mW | 10~1000 mW | 1~30 mW | 1~30 mW | 1~30 mW |
| 效率(WPE) | 20~40% | 20~40% | 5~15% | 5~15% | 5~15% |
| 使用壽命 | 最高 10,000 h | 最高 10,000 h | 最高 5,000 h | 最高 5,000 h | 最高 5,000 h |
| 操作溫度 | -20 °C ~ +60 °C | -20 °C ~ +60 °C | -10 °C ~ +50 °C | -10 °C ~ +50 °C | -10 °C ~ +50 °C |
| 典型應用 | 硬化、測試 | 硬化、測試 | 消毒、滅菌 | 消毒、滅菌 | 消毒、滅菌 |
說明:
峰值波長:LED 發射強度最高時所對應的波長。
光輸出功率:LED 發射光的總功率,單位為毫瓦。
效率:發射光功率與吸收電功率之比值。
使用壽命:LED 預期運作時間,直至輸出功率下降至原始值之特定百分比為止,通常為 70%(L70)。
操作溫度:LED 能安全且有效運作之溫度範圍。
典型應用:特定 LED 最常見之應用領域。
表中所列數值為一般參考值,可能因製造商及具體 LED 型號而有所差異。此外,值得注意的是,UVC LED(尤其是在較短波長時)之效率與輸出功率通常低於 UVA LED。
雖然 UVA LED 之 AlGaN 層通常含鋁量較低,但 UVB 與 UVC LED 須有較高含鋁量才能達到較短波長。由於含鋁量較高及相應之較高結晶缺陷,UVB 與 UVC LED 之磊晶沉積在技術上要求更高。這導致生產成本較高、良率較低。
此外,由於製造過程之關係,發射波長會有所波動。因此,紫外線 LED 在分離後會依光譜進行分組,此過程稱為分級(binning)。值得注意的是,若更換為不同批次之 LED,波長可能會略有變化。相對地,傳統燈管之發射則由原子躍遷與粒子碰撞所決定。因此,傳統燈管之發射不會改變。
UVA LED 的應用
波長範圍在 315 至 400 nm 的 UVA LED 被廣泛應用於眾多技術、科學及工業領域,在非破壞性檢測(NDT)及許多其他創新應用中扮演核心角色。
非破壞性檢測(NDT):UVA LED 是螢光檢測(NDT 的一個子領域)中的重要工具。它們藉由激發塗覆在待測零件上的螢光染料,使表面缺陷或材料差異可視化。此方法常用於航太、汽車及金屬加工產業,用以辨識裂縫、重疊、氣孔及其他缺陷。
紫外線固化:UVA LED 最常見的應用之一是油漆、黏著劑及塗料的紫外線固化。此技術用於印刷業、電子產品製造(例如智慧型手機螢幕的黏接)。UVA LED 具有快速且精準固化的優勢,可縮短製程時間並提高能源效率。
長期以來應用於紫外線固化及紫外線印刷的光起始劑,是專門設計用來對相應的 UVA 波長產生反應。額外以 280 至 300 nm 範圍的 UVB 光照射,可改善固化過程。
醫療應用:在皮膚科學中,UVA LED 用於光療,特別是治療如乾癬及濕疹等皮膚疾病。UVA 輻射有助於減輕發炎並緩解這些疾病的症狀。
植物生長與園藝:UVA LED 在農業技術中扮演一定角色,特別是在溫室植物生長的人工照明方面。它們有助於控制某些生長過程並提高植物對害蟲的抵抗力。以 UVA 照射會使植株縮短。
法醫應用:在法醫學中,UVA LED 用於使血液、精液或其他體液等生物痕跡可視化。此技術也用於辨識偽造的文件或紙鈔。
分析應用:在化學及生物化學中,UVA LED 用於藉由螢光光譜法分析物質。此方法可精確測定化學化合物的組成及濃度。
UVB LED 的應用
UVB LED 在醫學上越來越常用於治療如乾癬等皮膚疾病及維生素 D 的合成。過去皮膚科學長期使用波長 308 nm 的激發式雷射或雷射。紫外線 LED 正逐漸取代傳統紫外線燈。因此其他應用包括:
維生素 D 的產生:UVB 輻射對於皮膚或食物中維生素 D 的天然生成至關重要。UVB 用於裝置中以產生維生素 D、維生素 D2 或前維生素 D3。當波長在 290 至 315 nm 之間的 UVB 光照射到皮膚時,7-DHC 分子的 B 環結構會被分解。此過程稱為光解作用。
與人類藉由皮膚暴露於 UVB 輻射來合成維生素 D 不同,植物並不以相同方式產生維生素 D。當真菌及某些藻類物種暴露於紫外線輻射時,其細胞內存在的麥角固醇可透過與人類皮膚合成維生素 D3 類似的光解反應,轉化為麥角固醇鈣化醇(維生素 D2)。UVB 輻射會打斷麥角固醇分子中特定的鍵,導致其轉化為前維生素 D2。與人類維生素 D3 的合成類似,不穩定的前維生素 D2 會透過依賴熱能的異構化轉化為穩定的維生素 D2。
曬黑:在化妝品產業中,UVB LED 及紫外線燈可用於曬黑裝置,以達到均勻且可控的皮膚曬黑效果。
光療:在醫療治療中,UVB 用於光療,特別是針對如乾癬及白斑症等皮膚疾病。UVB 輻射有助於使過度活躍的皮膚細胞恢復正常,並緩解這些疾病的症狀。
植物栽培:UVB LED 也應用於植物育種,因為 UVB 光會影響植物的生長、開花時間及次級代謝物。以 UVB 光照射有助於提高某些植物成分(如維生素、香氣物質及色素)的產量。
大麻中的 THC 產量:UVB LED 的一項特定應用是優化大麻中 THC 的產量。已知 UVB 輻射會增加植物的壓力,進而可能提高如 THC 等次級植物化合物的產量。此方法特別用於合法大麻種植環境,以提升植株的效力及品質。
材料測試:UVB 用於材料的加速老化測試,以模擬太陽輻射並評估塑膠、油漆及其他材料的長期穩定性。
UVC LED 的應用
UVC LED 在效率、耐用性及成本方面的持續發展,使其在許多傳統上使用汞蒸氣燈的領域中成為日益具吸引力的選擇。因此,其一般應用包括:
紫外線消毒:UVC 最主要的用途之一是水、表面及空氣的消毒。UVC 輻射在使細菌、病毒及其他微生物失去活性方面極為有效,因為它會破壞其 DNA 或 RNA,從而阻止其繁殖。
UVC LED 用於小型水處理系統,在使用點(即水龍頭)去除飲用水中的致病菌。
表面消毒:在醫院、實驗室及食品加工業中,使用可攜式或永久安裝的 UVC 裝置發出 UVC 輻射,以對工具、包裝及工作表面進行滅菌。此外,UVC 燈也整合於空調及通風系統中,以淨化空氣中的病菌並防止疾病傳播。
傷口護理:未來 UVC LED 也將用於醫療治療及傷口護理,特別是治療難以癒合的傷口及感染。將 UVC 光施用於受感染的傷口可抑制細菌病原體的生長並促進癒合。精確控制輻射劑量以避免損傷皮膚十分重要。
直接光聚合作用:UVC LED 較少用於光聚合作用:其輻射會被最上層的樹脂層吸收,且可用功率遠低於 UVA LED。對於塗料、黏著劑及 3D 列印樹脂而言,365 至 405 nm 的 UVA LED 才是標準選擇。
其他分析應用:
UVC LED 可作為光譜分析的光源,用於分析化學及生物樣本,例如環境監測中的螢光或吸光度測量。
哪種波長適合紫外線黏著劑?
光起始劑僅在有限的波段內吸收光。為 365 nm 設計的起始劑,即使以更高功率的 405 nm 光源照射,也幾乎無法被激發。工業用紫外線 LED 在 365、385、395 及 405 nm 的峰值波長,代表的是不同的化學配方,而非可互換的功率等級(UV-int – UV wavelength selection;ScienceDirect – Specific photoinitiating systems at 365, 385, 395 and 405 nm)。選擇應從黏著劑的技術資料表開始,並以在實際光源上的量測結果作為最終依據。常見的錯誤來源是:型號名稱標示的是名義峰值波長,而非光譜半高全寬(FWHM)、製造公差,或隨接面溫度而產生的偏移。
365、385、395 或 405 nm — 光譜範圍與應用
| 波長 | 特性 | 典型光起始劑/材料相容性 | 典型應用 |
|---|---|---|---|
| 365 nm | 四個峰值中光子能量最高(3.39 eV);歷史上為汞蒸氣燈的 i 線峰值;穿透清澈材料的深度往往較深 | 與為汞燈配方設計的傳統光起始劑相容;通常是既有、未變更黏著劑配方的首選 | 較厚的透明填封材料;光學黏接;將既有汞燈製程轉換為 LED(UV-int;Incure Lab) |
| 385 nm | 穿透深度與表面固化之間比例均衡(3.22 eV);與許多雙重固化型起始劑具有廣泛相容性 | 為 LED 固化重新配方、資料表範圍為 380–390 nm 的黏著劑 | 對深度與表面固化有混合需求的零件;同時生產多種工件類型的產線(Incure Lab) |
| 395 nm | 具高能源效率及長 LED 使用壽命的產業標準(3.14 eV);許多現代黏著劑配方已重新調整為 390–400 nm | 材料相容性廣泛;部分可穿透在近可見光範圍開始透光的紫外線阻隔添加劑 | 一般工業固化、電子產品製造、數位印刷、高產能量產線(UV-int) |
| 405 nm | 四個峰值中光子能量最低(3.06 eV);更接近可見光;表面固化效率高、穿透深度較低;額外熱負載極小 | 自由基型光起始劑仍可使用,但效率較低;配方範圍通常為 400–410 nm | 表面固化、熱敏感零件、3D 列印及牙科樹脂、醫療用黏著劑(Incure Lab) |
備註:本表描述的是技術文獻中的一般趨勢。特定情況下哪種波長合適,取決於實際使用的光起始劑及接合零件的透光性,應在實際組裝件上量測確認,而不應僅憑 LED 的名義標示推斷。
如何據此規劃並釋放黏接或填封製程,請參閱紫外線黏接與填封製程的設計;哪種材料類別適合此應用,請參閱紫外線固化黏著劑、塗料及填封材料的選擇。
紫外線 LED 的基板與磊晶:
- UVA LED(315 nm 至 400 nm):
藍寶石(氧化鋁)因價格低廉且容易取得,常被用作基板。碳化矽(SiC)或矽(Si)等其他基板也被使用,以發揮其熱導性及與現有半導體製造技術的相容性。磊晶層藉由金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)沉積而成,通常由氮化鋁鎵(AlGaN)組成,鋁含量會依所需的發射波長進行調整。
- UVB LED(280 nm 至 315 nm)及 UVC LED(100 nm 至 280 nm)
UVB 及 UVC LED 通常使用與 UVA LED 相同的基板,但對材料品質及純度的要求更高,特別是 UVC 範圍內較短波長的部分。另外也使用如氮化鋁(AlN)等原生基板,可實現更佳的晶格匹配,因而降低缺陷密度。此處同樣使用 AlGaN 作為磊晶層,但鋁含量更高,以達到更短的波長。磊晶層同樣以 MOCVD 形成,過程中特別注重缺陷控制及層的均勻性。
熱輸入:UV LED 與放電燈管的比較
除了可用的紫外線輻射外,UV 燈管還會發射大量紅外線成分,因為電漿及高溫燈管外殼會將大部分損耗以熱能形式輻射出去。而在 UV LED 中,損耗則是被導引至散熱片或水冷系統,而不會以輻射方式到達工件。因此輻射熱輸入明顯較低。
然而,較低並不代表可忽略:高功率模組在被照射材料表面可達到每 cm² 數 W 的輻照度水準——其功率密度大約相當於電磁爐的等級。即使沒有紅外線成分,工件仍會明顯升溫。因此對於溫度敏感的基材,除了劑量外,還必須考量照射的時間曲線,且元件溫度也應納入製程評估。
第二點則與波長範圍的長波末端有關:發射波長高於 400 nm 的 LED,嚴格來說屬於藍光 LED。此時必須評估光化學視網膜危害(「藍光危害」)。相關基本原理說明於 職業安全與光生物安全 頁面;對於實驗室工作及手動黏接作業,封閉式 UV LED 照射腔室 是較安全的解決方案。
實際到達工件的輻照度可在製程中透過 UV 測量儀器與輻射計 進行監測;針對個別 LED 波長的校正則由 經認證的校正實驗室 執行。
哪些量測儀器可擷取 365 至 405 nm 紫外線 LED 的光譜、輻照度與輻射通量,請參閱紫外線 LED 量測技術頁面。
紫外線 LED 量測常見問答
脈衝式紫外線 LED 應如何正確量測?
關鍵區別在於脈衝峰值與時間平均值之間的差異。積分時間較長的儀器(例如光譜儀)所顯示的是平均值,也就是峰值乘以工作週期──就劑量而言是正確的,但用來判斷峰值輻照度則是錯誤的。若要量測峰值,需要頻寬遠高於脈衝頻率的儀器,或採用以脈衝觸發的量測方式。
紫外線 LED 可達到多高的效率?
整體效率,即所謂的插頭效率(wall-plug efficiency),是將光輻射功率與所消耗的電功率相比較。UVA LED 可達約 30 至 40 %,藍光 LED 甚至已達約 80 %。而深紫外線 UVB 及 UVC 範圍的 LED 則明顯偏低,僅約 5 至 10 % 以下。原因在於製程:波長愈短,AlGaN 層所需的鋁含量愈高,這使磊晶製程更為複雜,產生更多晶體缺陷,並降低良率。因此 UVB 及 UVC LED 仍持續研發中,市面上的型號會在一段時間後被後續型號取代。
紫外線 LED 的分級(binning)是什麼意思?
由於製程因素,所發出的波長會有所差異。晶圓切割成單顆晶粒後,LED 晶片會依光譜特性分組,此分類程序稱為分級(binning)。實際上的影響是:若以來自不同批次的元件更換 LED,發射波長可能略有偏移,此時採用窄頻加權的感測器便會顯示不同的數值。傳統燈管則不會發生此情況,因為其發射光譜是由原子躍遷與粒子碰撞所決定,更換燈管時不會產生偏移。
紫外線 LED 的使用壽命有多長?
UVA LED 可達最高 10,000 小時的操作時間,UVB 及 UVC LED 則最高可達 5,000 小時。壽命通常以 L70 表示,也就是輻射功率下降至初始值 70 % 時所經過的操作時間。可容許的操作溫度亦有所不同:UVA LED 為 −20 °C 至 +60 °C,UVB 及 UVC LED 為 −10 °C 至 +50 °C。由於輸出功率會隨使用時間持續下降,因此採用劑量控制的製程調節方式,優於採用固定的照射時間。
作者:Dr. Mark Paravia
Dr.-Ing. Mark Paravia 為 Opsytec Dr. Gröbel GmbH(位於 Ettlingen)的董事總經理,並負責領導該公司已獲認證的校正實驗室。在 KIT 照明技術研究所從事脈衝式氙氣激發準分子放電之研究後,他目前的研究重點為光學輻射量測技術。他同時擔任 DIN 標準委員會 FNL 7「光學輻射」小組副主席,並為 DVGW 紫外線消毒專案小組成員。