tinyTracker 172 nm：用於精確量測 172 nm 氙準分子輻射的頻帶輻射計
tinyTracker 172 是一款已校正的皮帶式輻射計，用於在氙準分子燈上進行 172 nm 的輻照度與劑量量測。其 SiC 光電偵測器經 PTB 校正，感應範圍為 155 nm 至 520 nm，量測範圍為 0–200 mW/cm²。在僅 10 mm 的高度下，該儀器可穿越照射通道，並以 1 至 100 Hz 的速率記錄長達三小時 – 包括在惰性氣體環境下。
氙準分子燈可實現新的、節省資源且更有效率的生產可能性。它們被應用於表面處理領域，用於霧化、清潔、表面活化或降低光起始劑的消耗。
為此，通常使用 172 nm 附近的窄頻譜在惰性氣體條件下進行照射。此時高光子能量足以分解幾乎所有的有機化合物。
172 nm（VUV）的量測是製程控制與優化的重要組成部分。
透過 tinyTracker 172，本公司提供一款已校正的頻帶輻射計，適合在惰性氣氛中使用。tinyTracker 172 經絕對校正，可直接於 172 nm 量測氙準分子燈的輻照度與照射劑量。
由於其特別扁平的設計，tinyTracker 172 可被引導穿過紫外線輸送帶乾燥機及其他工業設備的照射通道。
當超過可調式最小輻照度時，數值記錄會自動開始。內建的光電偵測器經 PTB 校正。
資料會記錄於可更換的 SD 卡上，並透過 USB 傳輸至 PC。
評估與資料匯出可透過 tinytracker 172 的 PC 軟體便捷地完成。
鋰電池可確保長達 3 小時的記錄時間。鋰電池可直接透過 USB 介面充電。並隨附額外的電源供應器。
tinyTracker 172 用於氙準分子燈的亮點
- 經校正的 VUV 輻射光電偵測器
- 非常適合量測 172 nm 輻射
- 僅 10 mm 的低高度
- 快速資料記錄，每秒可達 100 次量測
為何在 172 nm 進行量測會受距離、氣氛及窗材影響，詳見 量測 172 nm VUV 輻射 頁面說明。
| Product type | 產品類型：VUV 製程劑量計，適用於惰性氣體中的 172 nm 氙氣激發子燈管 |
| Spectral range | 光譜範圍：172 nm（額定波長） |
| Measuring range | 量測範圍：0–200 mW/cm² |
| Calibration uncertainty (typ.) | 校正不確定度（typ.）：4.5–6.0 %（k = 2） |
| Output / interface | 輸出／介面：Mini-USB 2.0 |
| Time resolution | 時間解析度：記錄頻率 1–100 Hz，可調整 |
| Calibration | 校正：可重新校正 |
| Standards / guidelines | 標準／指引：無產品專屬標準；可依 DIN EN ISO/IEC 17025:2018 提供校正 |
| Suitable for | 適用於：電子與半導體；光學與精密元件；汽車產業 |
| Not suitable for | 不適用於：光譜解析量測（峰值波長、頻寬）；輻照度超過 200 mW/cm²（標準範圍）；感測器溫度超過 60 °C；於水中或高壓下使用 |
| Datasheet revision | 資料表版次：Rev. 2026-09-08（E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf） |
上述校正不確定度為校正之展延不確定度（k = 2，信賴水準約 95 %），僅適用於校正用光源及校正條件。實際使用時，量測不確定度會較大：實際使用光源之光譜不匹配、感測器溫度、校正後之老化，以及與光源之距離及對準狀況，均會加成於其中。這些因素如何組合成不確定度預算，請參閱 紫外線量測中的量測不確定度。
以 3D 模型檢視 tinyTracker 172 nm
從各個角度查看資料記錄器，旋轉與縮放——直接在您的瀏覽器中進行。
常見問題：tinyTracker 172 nm
氙氣激發準分子燈管於 172 nm 發射真空紫外線，此波段在空氣中僅數毫米即被吸收；配備 200–280 nm 濾光片之標準 UVC 感測器無法量測此波長。tinyTracker 172 nm 於 172 nm 校正，其偵測器對 155 至 520 nm 具靈敏度，並直接置於燈管下方，於氮氣或惰性氣體環境中進行量測。量測範圍為 0–200 mW/cm²。
典型製程包括半導體與顯示器製造中的表面活化與清潔、黏接或塗佈前之前處理，以及使用準分子燈管進行塗層消光處理。在所有情況下，皆會測定基板上的劑量（單位 mJ/cm²），因為此劑量決定製程結果；儀器隨基板通過惰性氣體區域，並記錄時間曲線。
偵測器對 155 至 520 nm 具靈敏度，但儀器僅於 172 nm 進行校正。於 185 nm（產生臭氧型低壓燈管）或 222 nm（KrCl 準分子）時，儀器僅提供相對數值，而非具計量溯源性之輻照度；此時需要針對該光源進行專屬校正，本公司可依需求進行檢驗。針對 222 nm 燈管，亦建議使用光譜輻射計（如 SR900）評估 UVC 範圍內之側向發射。
校正證書載明擴展校正不確定度（k = 2）；就 tinyTracker 172 nm 而言，此數值通常為 4.5–6.0 %。實際使用時之量測不確定度會更大，因為實際使用光源之光譜不匹配、感測器溫度、老化及量測幾何等因素皆會加入其中。這些因素如何組合成不確定度預算，詳見紫外線量測中之量測不確定度。
