tinyTracker 172 nm: مقياس إشعاع شريطي لقياسات دقيقة لإشعاع مصابيح الزينون الإكزيمر عند 172 nm
يُعد tinyTracker 172 مقياس إشعاع شريطي مُعايَر لقياس شدة الإشعاع الساقط والجرعة الإشعاعية على مصابيح الزينون الإكزيمر عند 172 nm. كاشفه الضوئي من نوع SiC مُعايَر من قِبل PTB وحساس من 155 nm إلى 520 nm، ونطاق القياس من 0 إلى 200 mW/cm². وعند ارتفاع 10 mm، يمر الجهاز عبر قنوات التشعيع ويسجّل لمدة تصل إلى ثلاث ساعات بمعدل من 1 إلى 100 Hz – بما في ذلك تحت أجواء الغاز الخامل.
تتيح مصابيح الزينون الإكزيمر إمكانيات إنتاج جديدة أكثر كفاءة وموفّرة للموارد. وتُستخدم في مجال معالجة الأسطح لأغراض التخشين أو التنظيف أو تنشيط السطح أو لتقليل استهلاك المبادرات الضوئية.
ولهذا الغرض، يُستخدم عادةً الطيف الضيق النطاق حول 172 nm للتشعيع تحت ظروف الغاز الخامل. عندئذٍ تكون طاقة الفوتون العالية كافية لتفكيك معظم المركبات العضوية تقريباً.
ويُعد قياس 172 nm (VUV) عنصراً مهماً للتحكم في العملية وتحسينها.
مع tinyTracker 172، نقدّم مقياس إشعاع شريطي مُعايَر مناسب للاستخدام في جو خامل. إن tinyTracker 172 مُعايَر معايرة مطلقة ويقيس شدة الإشعاع الساقط وجرعة التشعيع لمصابيح الزينون الإكزيمر مباشرة عند 172 nm.
وبفضل تصميمه المسطّح بشكل خاص، يمكن توجيه tinyTracker 172 عبر قنوات التشعيع الخاصة بمجفّفات الأشعة فوق البنفسجية الشريطية وغيرها من المعدّات الصناعية.
يبدأ تسجيل القيم تلقائياً عند تجاوز حد أدنى قابل للضبط لشدة الإشعاع الساقط. والكاشف الضوئي المدمج مُعايَر من قِبل PTB.
تُسجَّل البيانات على بطاقة SD قابلة للاستبدال وتُنقل عبر USB إلى الحاسوب.
يتم التقييم وتصدير البيانات بسهولة عبر برنامج الحاسوب الخاص بـ tinytracker 172.
تضمن بطارية الليثيوم أيون مدة تسجيل تصل إلى 3 ساعات. ويمكن شحن بطارية الليثيوم أيون مباشرة عبر منفذ USB. ويُرفق مع الجهاز وحدة تزويد كهربائي إضافية.
أبرز مزايا tinyTracker 172 لمصابيح الزينون الإكزيمر
- كاشف ضوئي مُعايَر لإشعاع VUV
- مثالي لقياس إشعاع 172 nm
- ارتفاع منخفض لا يتجاوز 10 mm
- تسجيل سريع للبيانات بمعدل يصل إلى 100 قياس في الثانية
يُشرح على الصفحة قياس إشعاع VUV بطول 172 nm سبب اعتماد القياس عند 172 nm على المسافة والجو المحيط ومادة النافذة.
| نوع المنتج | مقياس الأشعة فوق البنفسجية: جهاز قياس الجرعة للعمليات في المدى فوق البنفسجي الفراغي (VUV) لمصابيح الإكزايمر الزينون 172 nm في الغاز الخامل |
| النطاق الطيفي | 172 nm (الطول الموجي الاسمي) |
| مدى القياس | 0–200 mW/cm² |
| عدم تيقّن المعايرة (نموذجي) | 4.5–6.0 % (k = 2) |
| المخرج / الواجهة | الواجهة: Mini-USB 2.0 |
| الدقة الزمنية | تردد التسجيل: من 1 إلى 100 Hz، قابل للتعديل |
| المعايرة | قابل لإعادة المعايرة |
| المواصفات / الإرشادات | لا توجد مواصفة خاصة بالمنتج؛ تتوفر المعايرة وفقاً لـ DIN EN ISO/IEC 17025:2018 |
| مناسب لـ | الإلكترونيات وأشباه الموصلات؛ البصريات والمكوّنات الدقيقة؛ صناعة السيارات |
| غير مناسب لـ | القياس المُحلَّل طيفياً (الطول الموجي الذروي، عرض النطاق)؛ شدة الإشعاع الساقط فوق 200 mW/cm² (المدى القياسي)؛ درجات حرارة المستشعر فوق 60 °C؛ الاستخدام تحت الماء أو تحت الضغط |
| إصدار ورقة البيانات | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
عدم اليقين في المعايرة المذكور أعلاه هو عدم اليقين الموسّع للمعايرة (k = 2، مستوى ثقة يبلغ نحو 95%) وينطبق على مصدر المعايرة وظروف المعايرة. أما عند الاستخدام الفعلي، فإن عدم يقين القياس يكون أكبر: إذ يُضاف إليه عدم التطابق الطيفي مع المصدر المستخدَم فعلياً، ودرجة حرارة المستشعر، والتقادم منذ المعايرة، بالإضافة إلى المسافة والمحاذاة بالنسبة إلى المصدر. ويُشرح كيفية دمج هذه العوامل ضمن ميزانية عدم اليقين تحت عدم يقين القياس في قياس الأشعة فوق البنفسجية.
عرض tinyTracker 172 nm كنموذج ثلاثي الأبعاد
انظروا إلى مسجّل البيانات من كل جانب، وقوموا بتدويره وتكبيره/تصغيره – مباشرةً في متصفّحكم.
يمكن استعراض tinyTracker 172 nm من جميع الجوانب في عارض المنتج ثلاثي الأبعاد – مطابقاً للأصل تماماً، ومُولَّداً من بيانات تصميم CAD. فبارتفاع إجمالي قدره 10 mm وتشغيله تحت جو من الغاز الخامل، يحدد كل مليمتر ما إذا كان الجهاز يمر عبر قناة التشعيع – والعرض المكاني يوضح ذلك بجلاء أكثر من أي رقم.
البيانات الفنية لجهاز tinyTracker 172 لمصابيح الزينون الإكسايمر
| نطاق القياس | 0–200 mW/cm² |
| الدقة | 12 bit |
| زمن التسجيل | حتى 3 ساعات |
| تردد أخذ العيّنات | من 1 إلى 100 Hz، قابل للتعديل |
| الكاشف الضوئي | SiC |
| الحساسية الطيفية | من 155 إلى 520 nm |
| الأبعاد | 195 × 79 × 10 mm |
| درجة حرارة التشغيل المسموح بها | 60 °C |
| جهد التغذية | 5 V DC |
| مصدر التغذية | بطارية ليثيوم أيون، 1250 mAh |
| الواجهة | Mini-USB 2.0 |
| متطلبات النظام | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
الأسئلة الشائعة: tinyTracker 172 nm
تُصدر مصابيح الإكسيمر الزينون عند 172 nm إشعاعاً في مجال الأشعة فوق البنفسجية الفراغية، الذي يمتصّه الهواء خلال بضعة ملليمترات؛ ولا تلتقط مستشعرات UVC القياسية المزوّدة بمرشّحات لنطاق 200–280 nm هذا الطول الموجي. يُعايَر tinyTracker 172 nm عند 172 nm، وكاشفه حسّاس من 155 إلى 520 nm، ويوضع مباشرة تحت المصباح للقياس في جو من النيتروجين أو غاز خامل. نطاق القياس هو من 0 إلى 200 mW/cm².
من العمليات النموذجية تنشيط الأسطح وتنظيفها في تصنيع أشباه الموصلات والشاشات، والمعالجة المسبقة قبل اللصق أو الطلاء، وإضفاء المظهر غير اللامع على الطلاءات باستخدام مصابيح الإكسيمر. وفي جميع الحالات تُحدَّد الجرعة الإشعاعية بوحدة mJ/cm² عند الركيزة لأنها تُحدِّد مسار العملية؛ ويتنقّل الجهاز مع الركيزة عبر منطقة الغاز الخامل ويسجّل المسار الزمني.
الكاشف حسّاس من 155 إلى 520 nm، لكن الجهاز مُعايَر فقط عند 172 nm. وعند 185 nm (مصابيح الضغط المنخفض المولِّدة للأوزون) أو 222 nm (إكسيمر KrCl)، يقدّم الجهاز قيماً نسبية وليس شدة إشعاع قابلة للإرجاع المترولوجي؛ ويلزم عندئذٍ معايرة خاصة بالمصدر، تتحقق منها Opsytec عند الطلب. وبالنسبة لمصابيح 222 nm، يُوصى أيضاً باستخدام مقياس إشعاع طيفي مثل SR900 لتقييم الانبعاثات الجانبية في نطاق UVC.
تُبيّن شهادة المعايرة عدم اليقين الموسّع للمعايرة عند k = 2؛ وبالنسبة لـ tinyTracker 172 nm يتراوح عادة بين 4.5–6.0 %. أما عند الاستخدام الفعلي فإن عدم اليقين في القياس يكون أكبر، لأن عدم التطابق الطيفي مع المصدر المستخدَم فعلياً، ودرجة حرارة المستشعر، والتقادم، وهندسة القياس تُضاف إليه. ويُشرح كيفية دمج هذه العوامل في ميزانية عدم اليقين تحت عدم اليقين في قياس الأشعة فوق البنفسجية.
Downloads
أوراق البيانات متاحة بالألمانية والإنجليزية، والنسخة الإنجليزية هي المعتمدة.
