tinyTracker 172 nm: רדיומטר רצועה למדידה מדויקת של קרינת אקסיימר קסנון ב-172 nm
tinyTracker 172 הוא רדיומטר רצועה מכויל למדידת עצמת קרינה ומנת קרינה במנורות אקסיימר קסנון באורך גל 172 nm. גלאי הפוטו מסוג SiC שלו מכויל על ידי PTB ורגיש בטווח שבין 155 nm ל-520 nm, וטווח המדידה הוא 0–200 mW/cm². בגובה של 10 mm המכשיר עובר בתוך תעלות הקרינה ומתעד למשך עד שלוש שעות בתדר של 1 עד 100 Hz – גם בסביבת גז אינרטי.
מנורות אקסיימר קסנון מאפשרות אפשרויות ייצור חדשות, חסכוניות במשאבים ויעילות יותר. הן משמשות בתחום עיבוד פני השטח לצורך מיטוב (matting), ניקוי, הפעלת פני שטח (surface activation) או להפחתת צריכת פוטואיניציאטורים.
לצורך זה, נהוג להשתמש בספקטרום צר-פס סביב 172 nm כדי להקרין בתנאי גז אינרטי. במקרה זה, אנרגיית הפוטון הגבוהה מספיקה כדי לפרק כמעט את כל התרכובות האורגניות.
מדידת 172 nm (VUV) היא מרכיב חשוב לבקרה ולאופטימיזציה של התהליך.
עם tinyTracker 172 אנו מציעים רדיומטר רצועה מכויל המתאים לשימוש באטמוספרה אינרטית. ה-tinyTracker 172 מכויל באופן מוחלט ומודד את עצמת הקרינה ואת מנת ההקרנה של מנורות אקסיימר קסנון ישירות ב-172 nm.
בשל מבנהו השטוח במיוחד, ניתן להעביר את tinyTracker 172 בתוך תעלות ההקרנה של מייבשי רצועת UV וציוד תעשייתי אחר.
רישום הערכים מתחיל באופן אוטומטי כאשר עצמת קרינה מינימלית הניתנת להגדרה נחצית. גלאי הפוטו המובנה מכויל על ידי PTB.
הנתונים נרשמים על כרטיס SD להחלפה ומועברים באמצעות USB למחשב.
ניתוח וייצוא הנתונים מתבצעים בנוחות באמצעות תוכנת המחשב עבור tinytracker 172.
סוללת הליתיום-יון מבטיחה משך רישום של עד 3 שעות. ניתן לטעון את סוללת הליתיום-יון ישירות באמצעות חיבור USB. מתאם חשמל נוסף מצורף.
יתרונות בולטים של tinyTracker 172 למנורות אקסיימר קסנון
- גלאי פוטו מכויל לקרינת VUV
- אידיאלי למדידת קרינה באורך גל 172 nm
- גובה נמוך של 10 mm בלבד
- רישום נתונים מהיר עם עד 100 מדידות בשנייה
ההסבר מדוע מדידה ב-172 nm תלויה במרחק, באטמוספרה ובחומר החלון מופיע בעמוד מדידת קרינת VUV באורך גל 172 nm.
| סוג המוצר | מד UV: דוסימטר תהליכי VUV למנורות אקסימר קסנון בגל 172 nm בגז אינרטי |
| תחום ספקטרלי | 172 nm (אורך גל נומינלי) |
| תחום מדידה | 0 עד 200 mW/cm² |
| אי-ודאות כיול (טיפוסית) | 4.5 עד 6.0 % (k = 2) |
| פלט / ממשק | ממשק: Mini-USB 2.0 |
| רזולוציית זמן | תדר הקלטה: 1 עד 100 Hz, ניתן לכוונון |
| כיול | ניתן לכיול מחדש |
| תקנים / הנחיות | אין תקן ספציפי למוצר; ניתן לביצוע כיול בהתאם ל-DIN EN ISO/IEC 17025:2018 |
| מתאים ל | אלקטרוניקה ומוליכים למחצה; אופטיקה ורכיבי דיוק; רכב |
| לא מתאים ל | מדידה ספקטרלית מופרדת (אורך גל שיא, רוחב פס); עצמת קרינה נופלת מעל 200 mW/cm² (תחום סטנדרטי); טמפרטורות חיישן מעל 60 °C; שימוש תחת מים או בתנאי לחץ |
| עדכון גיליון הנתונים | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
אי-הוודאות בכיול שצוינה לעיל היא אי-הוודאות המורחבת של הכיול (k = 2, רמת ביטחון של כ-95 %) והיא חלה על מקור הכיול ותנאי הכיול. בשימוש בפועל אי-הוודאות במדידה גדולה יותר: חוסר התאמה ספקטרלי במקור שבו נעשה שימוש בפועל, טמפרטורת החיישן, ההזדקנות מאז הכיול, וכן המרחק וההתאמה למקור מצטרפים אליה. כיצד גורמים אלו משתלבים לכדי תקציב אי-ודאות מוסבר בעמוד אי-ודאות מדידה במדידת UV.
צפו במודל תלת-ממדי של tinyTracker 172 nm
הביטו על רשם הנתונים מכל צד, סבבו והתקרבו – ישירות בדפדפן שלכם.
ניתן להציג את tinyTracker 172 nm מכל הזוויות במציג התלת-ממד של המוצר – נאמן למקור, ומופק מנתוני התכן ה-CAD. בגובה כולל של 10 mm ובפעולה תחת אטמוספרת גז אינרטי, כל מילימטר קובע אם המכשיר עובר בתוך תעלת ההקרנה – התצוגה המרחבית מראה זאת בבירור רב יותר מכל נתון מספרי.
מפרט טכני של tinyTracker 172 עבור מנורות אקסימר קסנון
| תחום מדידה | 0–200 mW/cm² |
| רזולוציה | 12 bit |
| זמן הקלטה | עד 3 שעות |
| תדר דגימה | 1–100 Hz, ניתן לכוונון |
| גלאי אור | SiC |
| רגישות ספקטרלית | 155 עד 520 nm |
| מידות | 195 × 79 × 10 mm |
| טמפרטורת הפעלה מותרת | 60 °C |
| מתח הזנה | 5 V DC |
| מקור מתח | סוללת ליתיום-יון, 1250 mAh |
| ממשק | Mini-USB 2.0 |
| דרישות מערכת | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
שאלות נפוצות: tinyTracker 172 nm
מנורות אקסימר קסנון באורך גל 172 nm פולטות בטווח האולטרה-סגול הוואקומי, אשר נבלע באוויר במרחק של מספר מילימטרים בלבד; חיישני UVC סטנדרטיים בעלי מסננים לתחום 200–280 nm אינם קולטים אורך גל זה. ה-tinyTracker 172 nm מכויל באורך גל 172 nm, הגלאי שלו רגיש בתחום 155 עד 520 nm ומוצב ישירות מתחת למנורה למדידה באטמוספירת חנקן או גז אינרטי. טווח המדידה הוא 0–200 mW/cm².
תהליכים אופייניים הם הפעלת משטחים וניקוי בייצור מוליכים למחצה ותצוגות, טיפול מקדים לפני הדבקה או ציפוי, ומיטוב (matting) של ציפויים באמצעות מנורות אקסימר. בכל המקרים נקבעת מנת הקרינה ב-mJ/cm² על גבי המצע, שכן היא זו שמגדירה את התהליך; המכשיר נע עם המצע בתוך אזור הגז האינרטי ומתעד את פרופיל הזמן.
הגלאי רגיש בתחום 155 עד 520 nm, אך המכשיר מכויל רק באורך גל 172 nm. באורך גל 185 nm (מנורות לחץ נמוך מייצרות אוזון) או 222 nm (אקסימר KrCl) הוא מספק ערכים יחסיים, לא עצמת קרינה בעלת עקיבות מטרולוגית; יידרש כיול ספציפי למקור, אותו Opsytec בודקת לפי דרישה. עבור מנורות 222 nm מומלץ גם להשתמש בספקטרורדיומטר כגון SR900 כדי להעריך פליטות צד בתחום ה-UVC.
תעודת הכיול מציינת את אי-הוודאות המורחבת של הכיול עם k = 2; עבור ה-tinyTracker 172 nm היא בדרך כלל 4.5–6.0 %. בשימוש בפועל אי-הוודאות במדידה גדולה יותר, שכן מתווספים לה חוסר התאמה ספקטרלי במקור הקרינה בו נעשה שימוש בפועל, טמפרטורת החיישן, הזדקנות וגיאומטריית המדידה. הסבר על אופן שקלול גורמים אלו לתקציב אי-ודאות מופיע בעמוד אי-ודאות במדידת UV.
Downloads
גיליונות הנתונים זמינים בגרמנית ובאנגלית. הגרסה האנגלית היא המחייבת.
