tinyTracker 172 nm: Bandradiometer för exakta mätningar av 172 nm xenon-excimerstrålning
tinyTracker 172 är ett kalibrerat bandradiometer för irradians- och dosmätning på xenon-excimerlampor vid 172 nm. Dess SiC-fotodetektor är kalibrerad av PTB och känslig från 155 nm till 520 nm, och mätområdet är 0–200 mW/cm². Vid en höjd av 10 mm förflyttar sig instrumentet genom bestrålningskanaler och registrerar i upp till tre timmar vid 1 till 100 Hz – även under inert gasatmosfär.
Xenon-excimerlampor möjliggör nya, resursbesparande och effektivare produktionsmöjligheter. De används inom ytbehandling för mattering, rengöring, ytaktivering eller för att minska förbrukningen av fotoinitiator.
För detta ändamål används vanligtvis det smalbandiga spektrumet kring 172 nm för att bestråla under inerta gasförhållanden. Då räcker den höga fotonenergin för att spjälka nästan alla organiska föreningar.
Mätningen av 172 nm (VUV) är en viktig komponent för processtyrning och optimering.
Med tinyTracker 172 erbjuder vi ett kalibrerat bandradiometer som är lämpligt för användning i en inert atmosfär. tinyTracker 172 är absolutkalibrerat och mäter irradiansen och bestrålningsdosen från xenon-excimerlampor direkt vid 172 nm.
Tack vare sin särskilt platta design kan tinyTracker 172 föras genom bestrålningskanalerna hos UV-banddroppar och annan industriell utrustning.
Registreringen av värdena startar automatiskt när en inställbar minimiirradians överskrids. Den inbyggda fotodetektorn är kalibrerad av PTB.
Data registreras på ett utbytbart SD-kort och överförs via USB till en PC.
Utvärdering och dataexport utförs bekvämt med PC-programvaran för tinytracker 172.
Litiumjonbatteriet garanterar en registreringstid på upp till 3 timmar. Litiumjonbatteriet kan laddas direkt via USB-gränssnittet. En extra nätadapter ingår.
Höjdpunkter med tinyTracker 172 för xenon-excimerlampor
- Kalibrerad fotodetektor för VUV-strålning
- Idealisk för mätning av 172 nm-strålning
- Låg höjd på endast 10 mm
- Snabb dataregistrering med upp till 100 mätningar per sekund
Varför en mätning vid 172 nm beror på avstånd, atmosfär och fönstermaterial förklaras på sidan mätning av 172 nm VUV-strålning.
| Produkttyp | UV-mätare: VUV-processdosimeter för 172 nm xenonexcimerlampor i inert gas |
| Spektralområde | 172 nm (nominell våglängd) |
| Mätområde | 0–200 mW/cm² |
| Kalibreringsosäkerhet (typ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Utgång/gränssnitt | Gränssnitt: Mini-USB 2.0 |
| Tidsupplösning | Registreringsfrekvens: 1–100 Hz, justerbar |
| Kalibrering | omkalibreringsbar |
| Standarder/riktlinjer | ingen produktspecifik standard; kalibrering enligt DIN EN ISO/IEC 17025:2018 tillgänglig |
| Lämplig för | Elektronik och halvledare; Optik och precisionskomponenter; Fordonsindustri |
| Inte lämplig för | spektralt upplöst mätning (toppvåglängd, bandbredd); irradians över 200 mW/cm² (standardområde); sensortemperaturer över 60 °C; användning under vatten eller under tryck |
| Databladsrevision | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
Den ovan angivna kalibreringsosäkerheten är kalibreringens utvidgade osäkerhet (k = 2, konfidensnivå cirka 95 %) och gäller för kalibreringskällan och kalibreringsförhållandena. Vid användning är mätosäkerheten större: spektral missanpassning vid den faktiskt använda källan, sensortemperaturen, åldring sedan kalibreringen samt avstånd och inriktning mot källan tillkommer. Hur dessa kombineras till en osäkerhetsbudget förklaras under Mätosäkerhet vid UV-mätning.
Visa tinyTracker 172 nm som 3D-modell
Titta på dataloggern från alla sidor, rotera och zooma – direkt i din webbläsare.
tinyTracker 172 nm kan visas från alla sidor i 3D-produktvisaren – helt originaltrogen, genererad från CAD-konstruktionsdata. Med en totalhöjd på 10 mm och drift under inert gasatmosfär avgör varje millimeter om instrumentet passerar genom bestrålningskanalen – den rumsliga vyn visar detta tydligare än en siffra.
Tekniska data för tinyTracker 172 för xenon-excimerlampor
| Mätområde | 0–200 mW/cm² |
| Upplösning | 12 bit |
| Inspelningstid | upp till 3 timmar |
| Samplingsfrekvens | 1–100 Hz, justerbar |
| Fotodetektor | SiC |
| Spektral känslighet | 155 till 520 nm |
| Mått | 195 × 79 × 10 mm |
| Tillåten drifttemperatur | 60 °C |
| Matningsspänning | 5 V DC |
| Strömförsörjning | Li-jonbatteri, 1250 mAh |
| Gränssnitt | Mini-USB 2.0 |
| Systemkrav | Windows 10 / 11, 300 MB hårddisk, 4 GB RAM |
Vanliga frågor: tinyTracker 172 nm
Xenon-excimerlampor vid 172 nm avger vakuum-UV, som absorberas av luft inom några millimeter; standard-UVC-sensorer med filter för 200–280 nm fångar inte denna våglängd. tinyTracker 172 nm är kalibrerad vid 172 nm, dess detektor är känslig från 155 till 520 nm och placeras direkt under lampan för mätning i kväve- eller inertgasatmosfär. Mätområdet är 0–200 mW/cm².
Typiska processer är ytaktivering och rengöring inom halvledar- och displaytillverkning, förbehandling före limning eller beläggning samt mattning av beläggningar med excimerlampor. I samtliga fall bestäms dosen i mJ/cm² vid substratet, eftersom den definierar processen; instrumentet följer med substratet genom inertgaszonen och registrerar tidsförloppet.
Detektorn är känslig från 155 till 520 nm, men instrumentet är endast kalibrerat vid 172 nm. Vid 185 nm (ozonbildande lågtryckslampor) eller 222 nm (KrCl-excimer) ger det relativa värden, inte spårbar irradians; en källspecifik kalibrering skulle krävas, vilket Opsytec kontrollerar på begäran. För 222 nm-lampor rekommenderas även en spektroradiometer som SR900 för att bedöma sidoemissioner i UVC.
Kalibreringscertifikatet anger den utökade kalibreringsosäkerheten med k = 2; för tinyTracker 172 nm är den typiskt 4,5–6,0 %. Vid användning är mätosäkerheten större, eftersom spektral mismatch vid den faktiskt använda källan, sensortemperatur, åldring och mätgeometri tillkommer. Hur dessa kombineras till en osäkerhetsbudget förklaras under Mätosäkerhet vid UV-mätning.
Downloads
Databladen finns på tyska och engelska. Den engelska versionen är den gällande.
