tinyTracker 172 nm: Båndradiometer for presise målinger av 172 nm xenon-eksimerstråling
tinyTracker 172 er et kalibrert båndradiometer for irradians- og dosemåling på xenon-eksimerlamper ved 172 nm. SiC-fotodetektoren er kalibrert av PTB og er sensitiv fra 155 nm til 520 nm, og måleområdet er 0–200 mW/cm². Ved en høyde på 10 mm beveger instrumentet seg gjennom bestrålingskanaler og registrerer i opptil tre timer ved 1 til 100 Hz – også under en inert gassatmosfære.
Xenon-eksimerlamper muliggjør nye, ressursbesparende og mer effektive produksjonsmuligheter. De brukes innen overflatebehandling til matting, rensing, overflateaktivering eller for å redusere forbruket av fotoinitiator.
Til dette formålet brukes vanligvis det smalbåndede spekteret rundt 172 nm for å bestråle under inerte gassforhold. Da er den høye fotonenergien tilstrekkelig til å spalte nesten alle organiske forbindelser.
Målingen av 172 nm (VUV) er en viktig del av prosesskontroll og optimalisering.
Med tinyTracker 172 tilbyr vi et kalibrert båndradiometer som er egnet for bruk i en inert atmosfære. tinyTracker 172 er absolutt kalibrert og måler irradiansen og bestrålingsdosen til xenon-eksimerlamper direkte ved 172 nm.
På grunn av sin spesielt flate design kan tinyTracker 172 føres gjennom bestrålingskanalene til UV-båndtørkere og annet industrielt utstyr.
Registreringen av verdiene starter automatisk når en justerbar minimumsirradians overskrides. Den innebygde fotodetektoren er kalibrert av PTB.
Data registreres på et utskiftbart SD-kort og overføres via USB til PC.
Evaluering og dataeksport utføres enkelt med PC-programvaren for tinytracker 172.
Li-Ion-batteriet sikrer en registreringstid på opptil 3 timer. Li-ion-batteriet kan lades direkte via USB-grensesnittet. En ekstra strømforsyning er inkludert.
Høydepunkter ved tinyTracker 172 for xenon-eksimerlamper
- Kalibrert fotodetektor for VUV-stråling
- Ideell for måling av 172 nm-stråling
- Lav høyde på bare 10 mm
- Rask dataregistrering med opptil 100 målinger per sekund
Hvorfor en måling ved 172 nm avhenger av avstand, atmosfære og vindusmateriale, forklares på siden måling av 172 nm VUV-stråling.
| Produkttype | UV-måler: VUV-prosessdosimeter for 172 nm xenon-eksimerlamper i inert gass |
| Spektralområde | 172 nm (nominell bølgelengde) |
| Måleområde | 0–200 mW/cm² |
| Kalibreringsusikkerhet (typ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Utgang/grensesnitt | Grensesnitt: Mini-USB 2.0 |
| Tidsoppløsning | Registreringsfrekvens: 1–100 Hz, justerbar |
| Kalibrering | rekalibrerbar |
| Standarder/retningslinjer | ingen produktspesifikk standard; kalibrering iht. DIN EN ISO/IEC 17025:2018 tilgjengelig |
| Egnet for | Elektronikk og halvledere; Optikk og presisjonskomponenter; Bilindustri |
| Ikke egnet for | spektralt oppløst måling (toppbølgelengde, båndbredde); irradians over 200 mW/cm² (standardområde); sensortemperaturer over 60 °C; bruk under vann eller under trykk |
| Datablad revisjon | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
Den kalibreringsusikkerheten som er angitt ovenfor, er den utvidede usikkerheten til kalibreringen (k = 2, konfidensnivå ca. 95 %) og gjelder for kalibreringskilden og kalibreringsbetingelsene. Ved bruk er målusikkerheten større: spektralt misforhold ved den faktisk brukte kilden, sensortemperaturen, aldring siden kalibrering samt avstand og innretting mot kilden kommer i tillegg. Hvordan disse kombineres til et usikkerhetsbudsjett, forklares under Målusikkerhet ved UV-måling.
Vis tinyTracker 172 nm som 3D-modell
Se på dataloggeren fra alle sider, roter og zoom – direkte i nettleseren din.
tinyTracker 172 nm kan ses fra alle sider i 3D-produktvisningen – tro til originalen, generert fra CAD-konstruksjonsdataene. Med en totalhøyde på 10 mm og drift under en inert gassatmosfære er det hver millimeter som avgjør om instrumentet passerer gjennom bestrålingskanalen – den romlige visningen viser dette tydeligere enn et tall.
Tekniske data for tinyTracker 172 for Xenon-eksimerlamper
| Målområde | 0–200 mW/cm² |
| Oppløsning | 12 bit |
| Registreringstid | opp til 3 timer |
| Samplingsfrekvens | 1–100 Hz, justerbar |
| Fotodetektor | SiC |
| Spektral følsomhet | 155 til 520 nm |
| Dimensjoner | 195 × 79 × 10 mm |
| Tillatt driftstemperatur | 60 °C |
| Forsyningsspenning | 5 V DC |
| Strømforsyning | Li-ion-batteri, 1250 mAh |
| Grensesnitt | Mini-USB 2.0 |
| Systemkrav | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Ofte stilte spørsmål: tinyTracker 172 nm
Xenon-eksimerlamper ved 172 nm avgir vakuum-UV, som absorberes av luft innen få millimeter; standard UVC-sensorer med filtre for 200–280 nm fanger ikke opp denne bølgelengden. tinyTracker 172 nm er kalibrert ved 172 nm, detektoren er sensitiv fra 155 til 520 nm og plasseres direkte under lampen for måling i nitrogen- eller inertgassatmosfære. Måleområdet er 0–200 mW/cm².
Typiske prosesser er overflateaktivering og rensing i halvleder- og displayproduksjon, forbehandling før liming eller belegging og matting av belegg med eksimerlamper. I alle tilfeller bestemmes dosen i mJ/cm² ved substratet, siden den definerer prosessen; instrumentet følger substratet gjennom inertgasssonen og registrerer tidsforløpet.
Detektoren er sensitiv fra 155 til 520 nm, men instrumentet er kun kalibrert ved 172 nm. Ved 185 nm (ozondannende lavtrykkslamper) eller 222 nm (KrCl-eksimer) gir det relative verdier, ikke metrologisk sporbar irradians; en kildespesifikk kalibrering ville vært nødvendig, noe Opsytec kontrollerer på forespørsel. For 222 nm-lamper anbefales det også et spektroradiometer som SR900 for å vurdere sidestråling i UVC.
Kalibreringssertifikatet angir den utvidede kalibreringsusikkerheten med k = 2; for tinyTracker 172 nm er den typisk 4,5–6,0 %. Ved bruk er måleusikkerheten større, fordi spektralt avvik (spectral mismatch) ved den faktisk brukte kilden, sensortemperatur, aldring og målegeometri kommer i tillegg. Hvordan disse kombineres til et usikkerhetsbudsjett, forklares under Måleusikkerhet ved UV-måling.
Downloads
Databladene finnes på tysk og engelsk. Den engelske versjonen er gjeldende.
