tinyTracker 172 nm：用于精确测量172 nm氙准分子辐射的带通辐射计
tinyTracker 172是一款已校准的带式辐射计，用于对氙准分子灯在172 nm处的辐照度和剂量进行测量。其SiC光电探测器经PTB校准，在155 nm至520 nm范围内具有灵敏度，测量范围为0–200 mW/cm²。该仪器高度仅为10 mm，可在辐照通道中移动，并能以1至100 Hz的频率记录长达三小时——包括在惰性气体环境下。
氙准分子灯为资源节约型和高效生产提供了新的可能性。它们被用于表面处理领域，例如消光、清洁、表面活化或降低光引发剂消耗。
为此，通常使用172 nm附近的窄带光谱在惰性气体条件下进行辐照。此时高光子能量足以裂解几乎所有的有机化合物。
对172 nm（VUV）的测量是工艺控制与优化的重要组成部分。
借助tinyTracker 172，我们提供了一款适用于惰性气氛环境的已校准带通辐射计。tinyTracker 172经过绝对校准，可直接在172 nm处测量氙准分子灯的辐照度和辐照剂量。
凭借其特别扁平的设计，tinyTracker 172可穿过紫外线带式干燥机及其他工业设备的辐照通道。
当辐照度超过可调设定的最低值时，数值记录会自动开始。内置光电探测器经PTB校准。
数据记录在可更换的SD卡上，并可通过USB传输至电脑。
评估和数据导出可通过tinytracker 172配套的电脑软件轻松完成。
锂离子电池可确保长达3小时的记录时间。锂离子电池可直接通过USB接口充电，并随附额外的电源适配器。
tinyTracker 172用于氙准分子灯的亮点
- 用于VUV辐射的已校准光电探测器
- 非常适合测量172 nm辐射
- 仅10 mm的低高度
- 快速数据记录，每秒最多可达100次测量
关于为何在172 nm处的测量取决于距离、气氛和窗口材料，请参见页面测量172 nm VUV辐射。
| Product type | 产品类型：真空紫外过程剂量计，适用于惰性气体中172 nm准分子氙灯的紫外辐照度测量仪 |
| Spectral range | 光谱范围：172 nm（标称波长） |
| Measuring range | 测量范围：0–200 mW/cm² |
| Calibration uncertainty (typ.) | 校准不确定度（典型值）：4.5–6.0%（k = 2） |
| Output / interface | 输出／接口：Mini-USB 2.0接口 |
| Time resolution | 时间分辨率：记录频率1–100 Hz，可调 |
| Calibration | 校准：可重新校准 |
| Standards / guidelines | 标准／指南：无产品专用标准；可按DIN EN ISO/IEC 17025:2018提供校准 |
| Suitable for | 适用领域：电子与半导体；光学与精密元件；汽车行业 |
| Not suitable for | 不适用于：光谱分辨测量（峰值波长、带宽）；超过200 mW/cm²的辐照度（标准量程）；传感器温度超过60 °C；水下或加压环境使用 |
| Datasheet revision | 数据表版本：Rev. 2026-09-08（E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf） |
上述校准不确定度为校准的扩展不确定度（k = 2，置信水平约95%），适用于校准光源及校准条件。在实际使用中，测量不确定度会更大：实际使用光源处的光谱失配、传感器温度、自校准以来的老化情况，以及与光源的距离和对准情况，均会叠加进入该不确定度。这些因素如何组合成不确定度预算，请参见紫外测量中的测量不确定度。
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常见问题：tinyTracker 172 nm
172 nm氙准分子灯发射的是真空紫外光，该波长在空气中经数毫米即被吸收；配备200–280 nm滤光片的标准UVC传感器无法采集该波长。tinyTracker 172 nm在172 nm处校准，其探测器在155～520 nm范围内具有灵敏度，并直接置于灯下方，在氮气或惰性气体环境中进行测量。测量范围为0～200 mW/cm²。
典型工艺包括半导体与显示器制造中的表面活化与清洁、粘接或涂布前的预处理，以及使用准分子灯对涂层进行消光处理。在所有情况下，均需测定基板处以mJ/cm²为单位的剂量，因为该剂量决定工艺效果；仪器随基板一同穿过惰性气体区，并记录时间曲线。
该探测器在155～520 nm范围内具有灵敏度，但仪器仅在172 nm处进行校准。在185 nm（产臭氧型低压灯）或222 nm（KrCl准分子灯）下，仪器给出的是相对值，而非可溯源的辐照度；此时需要针对光源进行专门校准，我司可应要求进行核实。对于222 nm灯，还建议使用SR900等光谱辐射计评估UVC区域的旁瓣发射。
校准证书中给出的是k = 2时的扩展校准不确定度；对于tinyTracker 172 nm，该值通常为4.5–6.0%。在实际使用中，测量不确定度会更大，因为实际所用光源的光谱失配、传感器温度、老化及测量几何等因素都会叠加其中。这些因素如何组合形成不确定度预算，详见紫外测量中的测量不确定度。
