Gå til hovedindhold Gå til sidefod
professional
photonics.

tinyTracker 172 nm: Båndradiometer til præcise målinger af 172 nm xenon-excimerstråling

tinyTracker 172 er et kalibreret båndradiometer til måling af irradians og dosis på xenon-excimerlamper ved 172 nm. Dens SiC-fotodetektor er kalibreret af PTB og følsom fra 155 nm til 520 nm, og måleområdet er 0–200 mW/cm². Ved en højde på 10 mm bevæger instrumentet sig gennem bestrålingskanaler og registrerer i op til tre timer ved 1 til 100 Hz – også under inert gasatmosfære.

Xenon-excimerlamper muliggør nye, ressourcebesparende og mere effektive produktionsmuligheder. De anvendes inden for overfladebehandling til mathed, rengøring, overfladeaktivering eller til at reducere forbruget af fotoinitiator.
Til dette formål anvendes typisk det smalbånds spektrum omkring 172 nm til bestråling under inert gas. Den høje fotonenergi er da tilstrækkelig til at spalte næsten alle organiske forbindelser.
Målingen af 172 nm (VUV) er en vigtig komponent til processtyring og -optimering.

Med tinyTracker 172 tilbyder vi et kalibreret båndradiometer, som er velegnet til brug i en inert atmosfære. tinyTracker 172 er absolut kalibreret og måler irradiansen og bestrålingsdosis for xenon-excimerlamper direkte ved 172 nm.
På grund af sin særligt flade konstruktion kan tinyTracker 172 føres gennem bestrålingskanalerne i UV-bånd-tørreanlæg og andet industrielt udstyr.
Registreringen af værdierne starter automatisk, når en indstillelig minimumsirradians overskrides. Den indbyggede fotodetektor er kalibreret af PTB.

Data registreres på et udskifteligt SD-kort og overføres via USB til pc.
Evaluering og dataeksport udføres bekvemt med pc-softwaren til tinytracker 172.
Li-Ion-batteriet sikrer en registreringsvarighed på op til 3 timer. Li-Ion-batteriet kan oplades direkte via USB-porten. En ekstra strømforsyning følger med.

Højdepunkter ved tinyTracker 172 til xenon-excimerlamper

  • Kalibreret fotodetektor til VUV-stråling
  • Ideel til måling af 172 nm-stråling
  • Lav højde på kun 10 mm
  • Hurtig dataregistrering med op til 100 målinger pr. sekund

Hvorfor en måling ved 172 nm afhænger af afstand, atmosfære og vinduesmateriale, forklares på siden måling af 172 nm VUV-stråling.

ProdukttypeUV-måler: VUV-procesdosimeter til 172 nm xenon-excimerlamper i inertgas
Spektralområde172 nm (nominel bølgelængde)
Måleområde0–200 mW/cm²
Kalibreringsusikkerhed (typ.)4,5–6,0 % (k = 2)
Udgang/interfaceInterface: Mini-USB 2.0
TidsopløsningOptagelsesfrekvens: 1–100 Hz, justerbar
Kalibreringkan rekalibreres
Standarder/retningslinjeringen produktspecifik standard; kalibrering efter DIN EN ISO/IEC 17025:2018 tilgængelig
Velegnet tilElektronik og halvledere; Optik og præcisionskomponenter; Automotive
Ikke velegnet tilspektralt opløst måling (topbølgelængde, bandbredde); irradians over 200 mW/cm² (standardområde); sensortemperaturer over 60 °C; brug under vand eller under tryk
Datablad revisionRev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf)

Den ovenfor angivne kalibreringsusikkerhed er kalibreringens udvidede usikkerhed (k = 2, konfidensniveau ca. 95 %) og gælder for kalibreringskilden og kalibreringsbetingelserne. Under brug er måleusikkerheden større: spektralt mismatch ved den faktisk anvendte kilde, sensortemperaturen, ældning siden kalibreringen samt afstand og justering i forhold til kilden lægges til. Hvordan disse kombineres til et usikkerhedsbudget, forklares under Måleusikkerhed ved UV-måling.

Se tinyTracker 172 nm som 3D-model

Se datalogger fra alle sider, rotér og zoom – direkte i din browser.

tinyTracker 172 nm kan ses fra alle sider i 3D-produktvisningen – tro mod originalen, genereret fra CAD-konstruktionsdataene. Med en samlet højde på 10 mm og drift under en inert gasatmosfære er hver millimeter afgørende for, om instrumentet kommer igennem bestrålingskanalen – den rumlige visning viser det tydeligere end et tal.

Tekniske data for tinyTracker 172 til Xenon-excimerlamper

Måleområde 0–200 mW/cm²
Opløsning 12 bit
Optagetid op til 3 timer
Samplingfrekvens 1–100 Hz, justerbar
Fotodetektor SiC
Spektral følsomhed 155 til 520 nm
Mål 195 × 79 × 10 mm
Tilladt driftstemperatur 60 °C
Forsyningsspænding 5 V DC
Strømforsyning Li-ion-batteri, 1250 mAh
Interface Mini-USB 2.0
Systemkrav Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM

Ofte stillede spørgsmål: tinyTracker 172 nm

Xenon-excimerlamper ved 172 nm udsender i vakuum-UV, som absorberes af luft inden for få millimeter; standard UVC-sensorer med filtre til 200-280 nm registrerer ikke denne bølgelængde. tinyTracker 172 nm er kalibreret ved 172 nm, dens detektor er følsom fra 155 til 520 nm og placeres direkte under lampen til måling i nitrogen- eller inertgasatmosfære. Måleområdet er 0-200 mW/cm².

Typiske processer er overfladeaktivering og -rensning inden for halvleder- og displayfremstilling, forbehandling før limning eller coating samt matering af coatinger med excimerlamper. I alle tilfælde bestemmes dosis i mJ/cm² ved substratet, fordi den definerer processen; instrumentet følger med substratet gennem inertgaszonen og registrerer tidsforløbet.

Detektoren er følsom fra 155 til 520 nm, men instrumentet er kun kalibreret ved 172 nm. Ved 185 nm (ozondannende lavtrykslamper) eller 222 nm (KrCl-excimer) leverer det relative værdier, ikke metrologisk sporbar irradians; en kildespecifik kalibrering ville være nødvendig, hvilket Opsytec kontrollerer efter anmodning. Til 222 nm-lamper anbefales det desuden at anvende et spektroradiometer som SR900 til vurdering af sidestråling i UVC.

Kalibreringscertifikatet angiver den udvidede kalibreringsusikkerhed med k = 2; for tinyTracker 172 nm er den typisk 4,5-6,0 %. I brug er måleusikkerheden større, fordi spektral mismatch ved den faktisk anvendte kilde, sensortemperatur, ældning og målegeometri lægges til den. Hvordan disse kombineres til et usikkerhedsbudget, forklares under Måleusikkerhed ved UV-måling.

Ordrenumre, leveringsomfang, tilbehør og versioner

VersionBestillingsnummer
tinyTracker 172 nm824204

Leveringsomfang: tinyTracker172, fabrikskalibreringscertifikatet, et USB-kabel, strømforsyningen og en transportkuffert.