tinyTracker 172 nm: radiómetro de banda para mediciones precisas de radiación de excímero de xenón de 172 nm
El tinyTracker 172 es un radiómetro de cinta calibrado para la medición de irradiancia y dosis en lámparas de excímero de xenón a 172 nm. Su fotodetector de SiC está calibrado por el PTB y es sensible de 155 nm a 520 nm, y el rango de medición es de 0–200 mW/cm². Con una altura de 10 mm, el instrumento atraviesa los canales de irradiación y registra durante hasta tres horas a una frecuencia de 1 a 100 Hz, incluso bajo atmósfera de gas inerte.
Las lámparas de excímero de xenón permiten nuevas posibilidades de producción, más eficientes y que ahorran recursos. Se utilizan en el ámbito del tratamiento de superficies para el matizado, la limpieza, la activación superficial o para reducir el consumo de fotoiniciador.
Para ello, se suele emplear el espectro de banda estrecha en torno a 172 nm para irradiar en condiciones de gas inerte. En ese caso, la elevada energía fotónica es suficiente para escindir casi todos los compuestos orgánicos.
La medición a 172 nm (VUV) es un componente importante para el control y la optimización del proceso.
Con el tinyTracker 172 ofrecemos un radiómetro de banda calibrado apto para su uso en atmósfera inerte. El tinyTracker 172 está calibrado de forma absoluta y mide la irradiancia y la dosis de irradiación de lámparas de excímero de xenón directamente a 172 nm.
Gracias a su diseño especialmente plano, el tinyTracker 172 puede guiarse a través de los canales de irradiación de secadores UV de cinta y otros equipos industriales.
El registro de los valores comienza automáticamente al superarse una irradiancia mínima ajustable. El fotodetector integrado está calibrado por el PTB.
Los datos se registran en una tarjeta SD extraíble y se transfieren al PC mediante USB.
La evaluación y la exportación de datos se realizan cómodamente con el software para PC del tinytracker 172.
La batería de iones de litio garantiza una duración de registro de hasta 3 horas. La batería de iones de litio puede cargarse directamente a través de la interfaz USB. Se incluye una fuente de alimentación adicional.
Aspectos destacados del tinyTracker 172 para lámparas de excímero de xenón
- Fotodetector calibrado para radiación VUV
- Ideal para la medición de radiación de 172 nm
- Altura reducida de solo 10 mm
- Registro rápido de datos con hasta 100 mediciones por segundo
Por qué una medición a 172 nm depende de la distancia, la atmósfera y el material de la ventana se explica en la página medición de radiación VUV de 172 nm.
| Tipo de producto | Medidor UV: dosímetro de proceso VUV para lámparas de excímero de xenón de 172 nm en gas inerte |
| Rango espectral | 172 nm (longitud de onda nominal) |
| Rango de medición | 0–200 mW/cm² |
| Incertidumbre de calibración (típ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Salida / interfaz | Interfaz: Mini-USB 2.0 |
| Resolución temporal | Frecuencia de registro: 1–100 Hz, ajustable |
| Calibración | recalibrable |
| Normas / directrices | sin norma específica del producto; calibración disponible según DIN EN ISO/IEC 17025:2018 |
| Adecuado para | Electrónica y semiconductores; Óptica y componentes de precisión; Automoción |
| No adecuado para | medición resuelta espectralmente (longitud de onda de pico, ancho de banda); irradiancia superior a 200 mW/cm² (rango estándar); temperaturas del sensor superiores a 60 °C; uso bajo agua o bajo presión |
| Revisión de la ficha técnica | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
La incertidumbre de calibración indicada anteriormente es la incertidumbre expandida de la calibración (k = 2, nivel de confianza aprox. 95 %) y se aplica a la fuente de calibración y a las condiciones de calibración. En el uso, la incertidumbre de medición es mayor: a esta se añaden el desajuste espectral en la fuente realmente utilizada, la temperatura del sensor, el envejecimiento desde la calibración, así como la distancia y la alineación con respecto a la fuente. Cómo se combinan estos factores en un presupuesto de incertidumbre se explica en incertidumbre de medición en la medición UV.
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El tinyTracker 172 nm se puede visualizar desde todos los lados en el visor de producto 3D – fiel al original, generado a partir de los datos de diseño CAD. Con una altura total de 10 mm y funcionando bajo una atmósfera de gas inerte, cada milímetro decide si el instrumento pasa por el canal de irradiación – la vista espacial lo muestra con más claridad que una cifra.
Datos técnicos del tinyTracker 172 para lámparas de excímero de xenón
| Rango de medición | 0–200 mW/cm² |
| Resolución | 12 bit |
| Tiempo de registro | hasta 3 horas |
| Frecuencia de muestreo | 1–100 Hz, ajustable |
| Fotodetector | SiC |
| Sensibilidad espectral | de 155 a 520 nm |
| Dimensiones | 195 × 79 × 10 mm |
| Temperatura de servicio admisible | 60 °C |
| Tensión de alimentación | 5 V DC |
| Alimentación | Batería de ion-litio, 1250 mAh |
| Interfaz | Mini-USB 2.0 |
| Requisitos del sistema | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Preguntas frecuentes: tinyTracker 172 nm
Las lámparas excimer de xenón a 172 nm emiten en el UV de vacío, que es absorbido por el aire en pocos milímetros; los sensores UVC estándar con filtros para 200–280 nm no captan esta longitud de onda. El tinyTracker 172 nm está calibrado a 172 nm, su detector es sensible de 155 a 520 nm y se coloca directamente debajo de la lámpara para la medición en atmósfera de nitrógeno o gas inerte. El rango de medición es de 0–200 mW/cm².
Los procesos típicos son la activación y limpieza de superficies en la fabricación de semiconductores y pantallas, el pretratamiento antes del encolado o el recubrimiento y el matizado de recubrimientos con lámparas excimer. En todos los casos se determina la dosis en mJ/cm² en el sustrato, ya que esta define el proceso; el instrumento se desplaza junto con el sustrato a través de la zona de gas inerte y registra el perfil temporal.
El detector es sensible de 155 a 520 nm, pero el instrumento solo está calibrado a 172 nm. A 185 nm (lámparas de baja presión con generación de ozono) o 222 nm (excimer de KrCl) proporciona valores relativos, no una irradiancia trazable; sería necesaria una calibración específica para la fuente, que Opsytec comprueba bajo solicitud. Para lámparas de 222 nm también se recomienda un espectrorradiómetro como el SR900 para evaluar las emisiones laterales en el UVC.
El certificado de calibración indica la incertidumbre de calibración expandida con k = 2; para el tinyTracker 172 nm es típicamente del 4,5–6,0 %. Durante el uso, la incertidumbre de medición es mayor, ya que a esta se suman el desajuste espectral con la fuente realmente utilizada, la temperatura del sensor, el envejecimiento y la geometría de medición. Cómo se combinan estos factores en un presupuesto de incertidumbre se explica en Incertidumbre de medición en la medición UV.
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Las fichas técnicas están disponibles en alemán e inglés. La versión inglesa es la vinculante.
