tinyTracker 172 nm : radiomètre à bande pour des mesures précises du rayonnement excimère au xénon à 172 nm
Le tinyTracker 172 est un radiomètre à bande étalonné pour la mesure de l'éclairement énergétique et de la dose sur les lampes à excimère au xénon à 172 nm. Son photodétecteur SiC est étalonné par le PTB et sensible de 155 nm à 520 nm, et la plage de mesure est de 0 à 200 mW/cm². Avec une hauteur de 10 mm, l'appareil traverse les canaux d'irradiation et enregistre pendant jusqu'à trois heures à une fréquence de 1 à 100 Hz – y compris sous atmosphère de gaz inerte.
Les lampes à excimère au xénon ouvrent de nouvelles possibilités de production économes en ressources et plus efficaces. Elles sont utilisées dans le domaine du traitement de surface pour le matage, le nettoyage, l'activation de surface ou pour réduire la consommation de photoinitiateurs.
À cet effet, le spectre à bande étroite autour de 172 nm est généralement utilisé pour irradier sous conditions de gaz inerte. L'énergie photonique élevée est alors suffisante pour cliver presque tous les composés organiques.
La mesure à 172 nm (VUV) est un élément important pour le contrôle et l'optimisation des procédés.
Avec le tinyTracker 172, nous proposons un radiomètre à bande étalonné adapté à une utilisation en atmosphère inerte. Le tinyTracker 172 est étalonné en valeur absolue et mesure l'éclairement énergétique et la dose d'irradiation des lampes à excimère au xénon directement à 172 nm.
Grâce à sa conception particulièrement plate, le tinyTracker 172 peut être guidé à travers les canaux d'irradiation des sécheurs à bande UV et d'autres équipements industriels.
L'enregistrement des valeurs démarre automatiquement lorsqu'un éclairement énergétique minimal réglable est dépassé. Le photodétecteur intégré est étalonné par le PTB.
Les données sont enregistrées sur une carte SD interchangeable et transférées vers un PC via USB.
L'évaluation et l'exportation des données s'effectuent commodément grâce au logiciel PC pour tinytracker 172.
La batterie Li-Ion assure une durée d'enregistrement allant jusqu'à 3 heures. La batterie Li-Ion peut être rechargée directement via l'interface USB. Un bloc d'alimentation supplémentaire est inclus.
Points forts du tinyTracker 172 pour lampes à excimère au xénon
- Photodétecteur étalonné pour le rayonnement VUV
- Idéal pour la mesure du rayonnement à 172 nm
- Faible hauteur de seulement 10 mm
- Enregistrement rapide des données avec jusqu'à 100 mesures par seconde
Les raisons pour lesquelles une mesure à 172 nm dépend de la distance, de l'atmosphère et du matériau de la fenêtre sont expliquées sur la page mesure du rayonnement VUV à 172 nm.
| Type de produit | Radiomètre UV : dosimètre de procédé VUV pour lampes excimères au xénon 172 nm en gaz inerte |
| Plage spectrale | 172 nm (longueur d'onde nominale) |
| Plage de mesure | 0–200 mW/cm² |
| Incertitude d'étalonnage (typ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Sortie / interface | Interface : Mini-USB 2.0 |
| Résolution temporelle | Fréquence d'enregistrement : 1–100 Hz, réglable |
| Étalonnage | réétalonnable |
| Normes / directives | aucune norme spécifique au produit ; étalonnage selon DIN EN ISO/IEC 17025:2018 disponible |
| Adapté pour | Électronique et semi-conducteurs ; Optique et composants de précision ; Automobile |
| Non adapté pour | mesure résolue spectralement (longueur d'onde de pic, largeur de bande) ; éclairement énergétique supérieur à 200 mW/cm² (plage standard) ; températures du capteur supérieures à 60 °C ; utilisation sous l'eau ou sous pression |
| Révision de la fiche technique | Rév. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
L'incertitude d'étalonnage indiquée ci-dessus est l'incertitude élargie de l'étalonnage (k = 2, niveau de confiance d'environ 95 %) et s'applique à la source d'étalonnage et aux conditions d'étalonnage. En utilisation, l'incertitude de mesure est plus élevée : l'inadéquation spectrale au niveau de la source effectivement utilisée, la température du capteur, le vieillissement depuis l'étalonnage ainsi que la distance et l'alignement par rapport à la source s'y ajoutent. La façon dont ces éléments se combinent en un budget d'incertitude est expliquée sous Incertitude de mesure dans la mesure UV.
Voir le tinyTracker 172 nm sous forme de modèle 3D
Regardez le data logger sous tous les angles, faites-le pivoter et zoomez – directement dans votre navigateur.
Le tinyTracker 172 nm peut être visualisé sous tous les angles dans le visualiseur de produit 3D – fidèle à l'original, généré à partir des données de conception CAO. Avec une hauteur totale de 10 mm et un fonctionnement sous atmosphère de gaz inerte, chaque millimètre est déterminant pour savoir si l'appareil passe à travers le canal d'irradiation – la vue spatiale le montre plus clairement qu'un chiffre.
Caractéristiques techniques du tinyTracker 172 pour lampes excimères au xénon
| Plage de mesure | 0–200 mW/cm² |
| Résolution | 12 bit |
| Durée d'enregistrement | jusqu'à 3 heures |
| Fréquence d'échantillonnage | 1–100 Hz, réglable |
| Photodétecteur | SiC |
| Sensibilité spectrique | de 155 à 520 nm |
| Dimensions | 195 × 79 × 10 mm |
| Température de service admissible | 60 °C |
| Tension d'alimentation | 5 V DC |
| Alimentation | batterie Li-ion, 1250 mAh |
| Interface | Mini-USB 2.0 |
| Configuration système requise | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Questions fréquentes : tinyTracker 172 nm
Les lampes excimères au xénon à 172 nm émettent dans l'UV du vide, qui est absorbé par l'air en quelques millimètres ; les capteurs UVC standard équipés de filtres pour 200–280 nm ne détectent pas cette longueur d'onde. Le tinyTracker 172 nm est étalonné à 172 nm, son détecteur est sensible de 155 à 520 nm et il est positionné directement sous la lampe pour une mesure en atmosphère d'azote ou de gaz inerte. La plage de mesure est de 0 à 200 mW/cm².
Les procédés typiques sont l'activation et le nettoyage de surfaces dans la fabrication de semi-conducteurs et d'écrans, le prétraitement avant collage ou revêtement, ainsi que le matage de revêtements avec des lampes excimères. Dans tous les cas, c'est la dose en mJ/cm² au niveau du substrat qui est déterminée, car elle définit le procédé ; l'instrument se déplace avec le substrat à travers la zone de gaz inerte et enregistre le profil temporel.
Le détecteur est sensible de 155 à 520 nm, mais l'instrument n'est étalonné qu'à 172 nm. À 185 nm (lampes basse pression générant de l'ozone) ou à 222 nm (excimère KrCl), il fournit des valeurs relatives, non traçables en éclairement énergétique ; un étalonnage spécifique à la source serait nécessaire, qu'Opsytec vérifie sur demande. Pour les lampes à 222 nm, l'utilisation d'un spectroradiomètre tel que le SR900 est également recommandée afin d'évaluer les émissions parasites dans l'UVC.
Le certificat d'étalonnage indique l'incertitude d'étalonnage élargie avec k = 2 ; pour le tinyTracker 172 nm, elle est typiquement de 4,5 à 6,0 %. En utilisation, l'incertitude de mesure est plus élevée, car s'y ajoutent l'écart spectral par rapport à la source réellement utilisée, la température du capteur, le vieillissement et la géométrie de mesure. La manière dont ces facteurs se combinent en un budget d'incertitude est expliquée sous Incertitude de mesure en métrologie UV.
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Les fiches techniques sont disponibles en allemand et en anglais. La version anglaise fait foi.
