tinyTracker 172 nm: radiometro a nastro per misurazioni precise della radiazione a eccimeri di xeno a 172 nm
Il tinyTracker 172 è un radiometro a nastro tarato per la misurazione dell'irradianza e della dose sulle lampade a eccimeri di xeno a 172 nm. Il suo fotorivelatore SiC è tarato dal PTB e sensibile da 155 nm a 520 nm, e il campo di misura è 0–200 mW/cm². A un'altezza di 10 mm lo strumento attraversa i canali di irraggiamento e registra per un massimo di tre ore a 1–100 Hz – anche in atmosfera di gas inerte.
Le lampade a eccimeri di xeno consentono nuove possibilità di produzione più efficienti e a risparmio di risorse. Vengono utilizzate nel campo del trattamento delle superfici per l'opacizzazione, la pulizia, l'attivazione superficiale o per ridurre il consumo di fotoiniziatore.
A questo scopo si utilizza generalmente lo spettro a banda stretta intorno a 172 nm per irraggiare in condizioni di gas inerte. In tal caso l'elevata energia fotonica è sufficiente a scindere quasi tutti i composti organici.
La misurazione a 172 nm (VUV) è un elemento importante per il controllo e l'ottimizzazione del processo.
Con il tinyTracker 172 offriamo un radiometro a nastro tarato adatto all'uso in atmosfera inerte. Il tinyTracker 172 è tarato in modo assoluto e misura l'irradianza e la dose di irraggiamento delle lampade a eccimeri di xeno direttamente a 172 nm.
Grazie al suo design particolarmente piatto, il tinyTracker 172 può essere guidato attraverso i canali di irraggiamento degli asciugatori UV a nastro e di altre apparecchiature industriali.
La registrazione dei valori inizia automaticamente al superamento di un'irradianza minima impostabile. Il fotorivelatore integrato è tarato dal PTB.
I dati vengono registrati su una scheda SD estraibile e trasferiti al PC tramite USB.
La valutazione e l'esportazione dei dati vengono eseguite comodamente tramite il software PC per tinytracker 172.
La batteria agli ioni di litio garantisce una durata di registrazione fino a 3 ore. La batteria agli ioni di litio può essere ricaricata direttamente tramite l'interfaccia USB. È incluso un alimentatore aggiuntivo.
Punti di forza del tinyTracker 172 per lampade a eccimeri di xeno
- Fotorivelatore tarato per radiazione VUV
- Ideale per la misurazione della radiazione a 172 nm
- Altezza ridotta di soli 10 mm
- Registrazione rapida dei dati con fino a 100 misurazioni al secondo
Il motivo per cui una misurazione a 172 nm dipende dalla distanza, dall'atmosfera e dal materiale della finestra è spiegato nella pagina misurazione della radiazione VUV a 172 nm.
| Tipo di prodotto | Radiometro UV: dosimetro di processo VUV per lampade a eccimeri di xeno a 172 nm in gas inerte |
| Intervallo spettrale | 172 nm (lunghezza d'onda nominale) |
| Campo di misura | 0–200 mW/cm² |
| Incertezza di taratura (tip.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Uscita / interfaccia | Interfaccia: Mini-USB 2.0 |
| Risoluzione temporale | Frequenza di registrazione: 1–100 Hz, regolabile |
| Taratura | ritarabile |
| Norme / linee guida | nessuna norma specifica di prodotto; taratura secondo DIN EN ISO/IEC 17025:2018 disponibile |
| Adatto per | Elettronica e semiconduttori; Ottica e componenti di precisione; Automotive |
| Non adatto per | misura risolta spettralmente (lunghezza d'onda di picco, larghezza di banda); irradianza superiore a 200 mW/cm² (campo standard); temperature del sensore superiori a 60 °C; uso sotto acqua o sotto pressione |
| Revisione della scheda tecnica | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
L'incertezza di taratura indicata sopra è l'incertezza estesa della taratura (k = 2, livello di confidenza di circa il 95 %) e si riferisce alla sorgente di taratura e alle condizioni di taratura. Nell'uso pratico l'incertezza di misura è maggiore: ad essa si aggiungono la mancata corrispondenza spettrale rispetto alla sorgente effettivamente utilizzata, la temperatura del sensore, l'invecchiamento intervenuto dalla taratura, nonché la distanza e l'allineamento rispetto alla sorgente. Il modo in cui questi fattori si combinano in un bilancio di incertezza è illustrato in Incertezza di misura nella misurazione UV.
Visualizzate il tinyTracker 172 nm come modello 3D
Guardate il data logger da ogni lato, ruotatelo e ingranditelo – direttamente nel vostro browser.
Il tinyTracker 172 nm può essere visualizzato da tutti i lati nel visualizzatore 3D del prodotto – fedele all'originale, generato dai dati di progettazione CAD. Con un'altezza complessiva di 10 mm e funzionando sotto atmosfera di gas inerte, ogni millimetro decide se lo strumento passa attraverso il canale di irraggiamento – la vista spaziale lo mostra più chiaramente di un dato numerico.
Dati tecnici di tinyTracker 172 per lampade a eccimeri Xenon
| Campo di misura | 0–200 mW/cm² |
| Risoluzione | 12 bit |
| Tempo di registrazione | fino a 3 ore |
| Frequenza di campionamento | 1–100 Hz, regolabile |
| Fotorilevatore | SiC |
| Sensibilità spettrale | da 155 a 520 nm |
| Dimensioni | 195 × 79 × 10 mm |
| Temperatura di esercizio consentita | 60 °C |
| Tensione di alimentazione | 5 V DC |
| Alimentazione | batteria Li-ion, 1250 mAh |
| Interfaccia | Mini-USB 2.0 |
| Requisiti di sistema | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Domande frequenti: tinyTracker 172 nm
Le lampade a excimer allo xenon a 172 nm emettono nell'UV sottovuoto, che viene assorbito dall'aria entro pochi millimetri; i sensori UVC standard con filtri per 200–280 nm non rilevano questa lunghezza d'onda. Il tinyTracker 172 nm è tarato a 172 nm, il suo rilevatore è sensibile da 155 a 520 nm ed è posizionato direttamente sotto la lampada per la misurazione in atmosfera di azoto o gas inerte. Il campo di misura è 0–200 mW/cm².
I processi tipici sono l'attivazione e la pulizia delle superfici nella produzione di semiconduttori e display, il pretrattamento prima dell'incollaggio o della verniciatura e l'opacizzazione dei rivestimenti con lampade a excimer. In tutti i casi viene determinata la dose in mJ/cm² sul substrato, poiché è essa a definire il processo; lo strumento si muove insieme al substrato attraverso la zona di gas inerte e registra il profilo temporale.
Il rilevatore è sensibile da 155 a 520 nm, ma lo strumento è tarato solo a 172 nm. A 185 nm (lampade a bassa pressione generanti ozono) o 222 nm (excimer KrCl) fornisce valori relativi, non un'irradianza riferibile metrologicamente; sarebbe necessaria una taratura specifica per la sorgente, che Opsytec verifica su richiesta. Per le lampade a 222 nm si consiglia inoltre uno spettroradiometro come l'SR900 per valutare le emissioni laterali nell'UVC.
Il certificato di taratura indica l'incertezza di taratura estesa con k = 2; per il tinyTracker 172 nm è tipicamente del 4,5–6,0 %. Nell'uso pratico l'incertezza di misura è maggiore, poiché ad essa si aggiungono il disallineamento spettrale rispetto alla sorgente effettivamente utilizzata, la temperatura del sensore, l'invecchiamento e la geometria di misura. Come questi fattori si combinano in un bilancio di incertezza è illustrato in Incertezza di misura nella misurazione UV.
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Le schede tecniche sono disponibili in tedesco e inglese. Fa fede la versione inglese.
