tinyTracker 172 nm: Radiômetro de faixa para medições precisas de radiação de excimer de xenônio de 172 nm
O tinyTracker 172 é um radiômetro de esteira calibrado para medição de irradiância e dose em lâmpadas de excimer de xenônio a 172 nm. Seu fotodetector de SiC é calibrado pelo PTB e sensível de 155 nm a 520 nm, e a faixa de medição é de 0–200 mW/cm². Com uma altura de 10 mm, o instrumento percorre canais de irradiação e registra por até três horas a taxas de 1 a 100 Hz – inclusive sob atmosfera de gás inerte.
As lâmpadas de excimer de xenônio possibilitam novas formas de produção mais eficientes e que economizam recursos. Elas são usadas na área de tratamento de superfícies para fosqueamento, limpeza, ativação de superfície ou para reduzir o consumo de fotoiniciador.
Para essa finalidade, o espectro de banda estreita em torno de 172 nm é normalmente usado para irradiar sob condições de gás inerte. Nesse caso, a alta energia dos fótons é suficiente para dividir quase todos os compostos orgânicos.
A medição de 172 nm (VUV) é um componente importante para o controle e a otimização do processo.
Com o tinyTracker 172, oferecemos um radiômetro de faixa calibrado adequado para uso em atmosfera inerte. O tinyTracker 172 é calibrado de forma absoluta e mede a irradiância e a dose de irradiação de lâmpadas de excimer de xenônio diretamente a 172 nm.
Devido ao seu design particularmente fino, o tinyTracker 172 pode ser conduzido através dos canais de irradiação de secadoras UV de esteira e outros equipamentos industriais.
O registro dos valores começa automaticamente quando uma irradiância mínima ajustável é ultrapassada. O fotodetector embutido é calibrado pelo PTB.
Os dados são registrados em um cartão SD removível e transferidos via USB para o PC.
A avaliação e a exportação de dados são realizadas de forma prática pelo software de PC para o tinytracker 172.
A bateria de íon-lítio garante uma duração de registro de até 3 horas. A bateria de íon-lítio pode ser carregada diretamente pela interface USB. Uma fonte de alimentação adicional está incluída.
Destaques do tinyTracker 172 para lâmpadas de excimer de xenônio
- Fotodetector calibrado para radiação VUV
- Ideal para a medição de radiação de 172 nm
- Baixa altura de apenas 10 mm
- Registro rápido de dados com até 100 medições por segundo
Por que uma medição a 172 nm depende da distância, da atmosfera e do material da janela é explicado na página medição de radiação VUV de 172 nm.
| Tipo de produto | Medidor UV: dosímetro de processo VUV para lâmpadas excimer de xenônio de 172 nm em gás inerte |
| Faixa espectral | 172 nm (comprimento de onda nominal) |
| Faixa de medição | 0–200 mW/cm² |
| Incerteza de calibração (típ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Saída / interface | Interface: Mini-USB 2.0 |
| Resolução temporal | Frequência de registro: 1–100 Hz, ajustável |
| Calibração | recalibrável |
| Normas / diretrizes | nenhuma norma específica de produto; calibração conforme DIN EN ISO/IEC 17025:2018 disponível |
| Adequado para | Eletrônica e semicondutores; Óptica e componentes de precisão; Automotivo |
| Não adequado para | medição resolvida espectralmente (comprimento de onda de pico, largura de banda); irradiância acima de 200 mW/cm² (faixa padrão); temperaturas do sensor acima de 60 °C; uso sob água ou sob pressão |
| Revisão da ficha técnica | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
A incerteza de calibração mencionada acima é a incerteza expandida da calibração (k = 2, nível de confiança de aprox. 95 %) e se aplica à fonte de calibração e às condições de calibração. No uso prático, a incerteza de medição é maior: a incompatibilidade espectral na fonte efetivamente utilizada, a temperatura do sensor, o envelhecimento desde a calibração, assim como a distância e o alinhamento em relação à fonte, são adicionados a ela. A forma como esses fatores se combinam em um orçamento de incerteza é explicada em Incerteza de medição na medição UV.
Veja o tinyTracker 172 nm como um modelo 3D
Veja o registrador de dados por todos os lados, gire e dê zoom – diretamente no seu navegador.
O tinyTracker 172 nm pode ser visualizado de todos os ângulos no visualizador de produto em 3D – fiel ao original, gerado a partir dos dados de projeto CAD. Com 10 mm de altura total e operando sob atmosfera de gás inerte, cada milímetro decide se o instrumento passa pelo canal de irradiação – a visualização espacial mostra isso com mais clareza do que um número.
Dados técnicos do tinyTracker 172 para lâmpadas excimer de Xenônio
| Faixa de medição | 0–200 mW/cm² |
| Resolução | 12 bit |
| Tempo de gravação | atéé 3 horas |
| Frequência de amostragem | 1–100 Hz, ajustável |
| Fotodetector | SiC |
| Sensibilidade espectral | 155 a 520 nm |
| Dimensões | 195 × 79 × 10 mm |
| Temperatura de operação permitida | 60 °C |
| Tensão de alimentação | 5 V DC |
| Alimentação | Bateria de Li-íon, 1250 mAh |
| Interface | Mini-USB 2.0 |
| Requisitos do sistema | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Perguntas frequentes: tinyTracker 172 nm
Lâmpadas excimer de xenônio em 172 nm emitem no UV de vácuo, que é absorvido pelo ar em poucos milímetros; sensores UVC padrão com filtros para 200–280 nm não captam esse comprimento de onda. O tinyTracker 172 nm é calibrado em 172 nm, seu detector é sensível de 155 a 520 nm e é posicionado diretamente sob a lâmpada para medição em atmosfera de nitrogênio ou gás inerte. A faixa de medição é de 0 a 200 mW/cm².
Processos típicos são a ativação e limpeza de superfícies na fabricação de semicondutores e displays, o pré-tratamento antes da colagem ou revestimento e a fosqueamento de revestimentos com lâmpadas excimer. Em todos os casos é determinada a dose em mJ/cm² no substrato, pois ela define o processo; o instrumento se desloca junto com o substrato pela zona de gás inerte e registra o perfil temporal.
O detector é sensível de 155 a 520 nm, mas o instrumento é calibrado apenas em 172 nm. Em 185 nm (lâmpadas de baixa pressão geradoras de ozônio) ou 222 nm (excimer de KrCl) ele fornece valores relativos, não uma irradiância rastreável; seria necessária uma calibração específica para a fonte, que a Opsytec verifica sob consulta. Para lâmpadas de 222 nm, também se recomenda um espectrorradiômetro como o SR900 para avaliar emissões laterais na faixa UVC.
O certificado de calibração indica a incerteza de calibração expandida com k = 2; para o tinyTracker 172 nm ela é tipicamente de 4,5 % a 6,0 %. Em uso, a incerteza de medição é maior, pois a incompatibilidade espectral com a fonte efetivamente utilizada, a temperatura do sensor, o envelhecimento e a geometria de medição se somam a ela. Como esses fatores se combinam em um orçamento de incerteza é explicado em Incerteza de medição em medições UV.
Downloads
As fichas técnicas estão disponíveis em alemão e inglês. A versão em inglês é a que prevalece.
