tinyTracker 172 nm: Nauharadiometri 172 nm:n ksenoniexcimer-säteilyn tarkkoihin mittauksiin
tinyTracker 172 on kalibroitu vyöradiometri irradianssin ja annoksen mittaamiseen ksenoniexcimer-lampuista aallonpituudella 172 nm. Sen SiC-valoilmaisin on PTB:n kalibroima ja herkkä alueella 155 nm–520 nm, ja mittausalue on 0–200 mW/cm². 10 mm:n korkeudella laite kulkee säteilytyskanavien läpi ja tallentaa jopa kolmen tunnin ajan taajuudella 1–100 Hz – myös inertissä kaasuatmosfäärissä.
Ksenoniexcimer-lamput mahdollistavat uusia, resursseja säästäviä ja tehokkaampia tuotantoratkaisuja. Niitä käytetään pintakäsittelyssä mattapinnoitukseen, puhdistukseen, pinnan aktivointiin tai fotoinitiaattorien kulutuksen vähentämiseen.
Tähän tarkoitukseen käytetään tavallisesti kapeakaistaista spektriä 172 nm:n ympärillä säteilytettäessä inertin kaasun olosuhteissa. Silloin korkea fotonienergia riittää halkaisemaan lähes kaikki organiset yhdisteet.
172 nm:n (VUV) mittaus on tärkeä osa prosessinohjausta ja optimointia.
tinyTracker 172:lla tarjoamme kalibroidun nauharadiometrin, joka soveltuu käytettäväksi inertissä atmosfäärissä. tinyTracker 172 on absoluuttisesti kalibroitu ja mittaa ksenoniexcimer-lampun irradianssin ja säteilytysannoksen suoraan aallonpituudella 172 nm.
Erityisen matalan rakenteensa ansiosta tinyTracker 172 voidaan ohjata UV-hihnakuivaajien ja muiden teollisuuslaitteiden säteilytyskanavien läpi.
Arvojen tallennus alkaa automaattisesti, kun säädettävä vähimmäisirradianssi ylittyy. Sisäänrakennettu valoilmaisin on PTB:n kalibroima.
Tiedot tallennetaan vaihdettavalle SD-kortille ja siirretään USB:n kautta tietokoneelle.
Arviointi ja tiedonvienti tehdään kätevästi tinytracker 172:n PC-ohjelmistolla.
Litiumioniakku mahdollistaa jopa 3 tunnin tallennuskeston. Litiumioniakku voidaan latata suoraan USB-liitännän kautta. Lisävirtalähde sisältyy toimitukseen.
tinyTracker 172:n kohokohdat ksenoniexcimer-lampuille
- Kalibroitu valoilmaisin VUV-säteilylle
- Ihanteellinen 172 nm:n säteilyn mittaamiseen
- Matala, vain 10 mm:n korkeus
- Nopea tiedontallennus, jopa 100 mittausta sekunnissa
Se, miksi mittaus 172 nm:ssä riippuu etäisyydestä, atmosfääristä ja ikkunamateriaalista, selitetään sivulla 172 nm:n VUV-säteilyn mittaaminen.
| Tuotetyyppi | UV-mittari: VUV-prosessiannosmittari 172 nm:n ksenoni-eksimeerilampuille inertissä kaasussa |
| Spektrialue | 172 nm (nimellinen aallonpituus) |
| Mittausalue | 0–200 mW/cm² |
| Kalibrointiepävarmuus (tyyp.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Lähtö / liitäntä | Liitäntä: Mini-USB 2.0 |
| Aikaresoluutio | Tallennustaajuus: 1–100 Hz, säädettävä |
| Kalibrointi | uudelleenkalibroitavissa |
| Standardit / ohjeet | ei tuotekohtaista standardia; kalibrointi standardin DIN EN ISO/IEC 17025:2018 mukaisesti saatavilla |
| Soveltuu käyttöön | Elektroniikka ja puolijohteet; Optiikka ja tarkkuuskomponentit; Autoteollisuus |
| Ei sovellu käyttöön | spektraalisesti erotteleva mittaus (huippuaallonpituus, kaistanleveys); yli 200 mW/cm²:n irradianssi (vakioalue); yli 60 °C:n anturilämpötilat; käyttö veden alla tai paineen alaisena |
| Tietolomakkeen versio | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
Edellä ilmoitettu kalibrointiepävarmuus on kalibroinnin laajennettu epävarmuus (k = 2, luottamustaso noin 95 %), ja se koskee kalibrointilähdettä ja kalibrointiolosuhteita. Käytössä mittausepävarmuus on suurempi: siihen lisätään spektrinen yhteensopimattomuus tosiasiallisesti käytetyn lähteen kanssa, anturin lämpötila, kalibroinnista alkanut vanheneminen sekä etäisyys ja kohdistus lähteeseen. Se, miten näistä muodostuu epävarmuusbudjetti, selitetään kohdassa Mittausepävarmuus UV-mittauksessa.
Katselkaa tinyTracker 172 nm -mallia 3D-mallina
Katselkaa datalogeria joka puolelta, kiertäkää ja zoomatkaa – suoraan selaimessanne.
tinyTracker 172 nm voidaan tarkastella joka puolelta 3D-tuotekatselimessa – alkuperäistä vastaavana, CAD-suunnittelutiedoista luotuna. 10 mm:n kokonaiskorkeudella ja inertissä kaasuatmosfäärissä toimittaessa jokainen millimetri ratkaisee, mahtuuko laite säteilytyskanavan läpi – tilallinen näkymä osoittaa tämän selvemmin kuin pelkkä lukuarvo.
tinyTracker 172:n tekniset tiedot Xenon-eksimeerilampuille
| Mittausalue | 0–200 mW/cm² |
| Resoluutio | 12 bit |
| Tallennusaika | jopa 3 tuntia |
| Näytteenottotaajuus | 1–100 Hz, säädettävä |
| Valoilmaisin | SiC |
| Spektriherkkyys | 155–520 nm |
| Mitat | 195 × 79 × 10 mm |
| Sallittu käyttölämpötila | 60 °C |
| Syöttöjännite | 5 V DC |
| Virtalähde | Li-ion-akku, 1250 mAh |
| Liitäntä | Mini-USB 2.0 |
| Järjestelmävaatimukset | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Usein kysytyt kysymykset: tinyTracker 172 nm
172 nm:ssä säteilevät ksenoni-eksimeerilamput emittoivat tyhjiö-UV-alueella, jonka ilma absorboi muutaman millimetrin matkalla; tavalliset UVC-anturit, joissa on suodattimet alueelle 200–280 nm, eivät havaitse tätä aallonpituutta. tinyTracker 172 nm on kalibroitu 172 nm:ssä, sen ilmaisin on herkkä alueella 155–520 nm ja se sijoitetaan suoraan lampun alle mittausta varten typpi- tai inertikaasuatmosfäärissä. Mittausalue on 0–200 mW/cm².
Tyypillisiä prosesseja ovat pintojen aktivointi ja puhdistus puolijohde- ja näyttövalmistuksessa, esikäsittely ennen liimausta tai pinnoitusta sekä pinnoitteiden mattapinnoitus eksimeerilampuilla. Kaikissa tapauksissa määritetään substraatilla vaikuttava annos yksikössä mJ/cm², koska se määrittää prosessin; laite kulkee substraatin mukana inertikaasualueen läpi ja tallentaa aikaprofiilin.
Ilmaisin on herkkä alueella 155–520 nm, mutta laite on kalibroitu vain 172 nm:ssä. Alueella 185 nm (otsonia tuottavat matalapainelamput) tai 222 nm (KrCl-eksimeeri) se antaa suhteellisia arvoja, ei jäljitettävää irradianssia; tällöin tarvittaisiin lähdekohtainen kalibrointi, jonka Opsytec tarkistaa pyynnöstä. 222 nm:n lampuille suositellaan lisäksi spektroradiometriä, kuten SR900, sivuemissioiden arvioimiseksi UVC-alueella.
Kalibrointitodistuksessa ilmoitetaan laajennettu kalibrointiepävarmuus kertoimella k = 2; tinyTracker 172 nm:lle se on tyypillisesti 4,5–6,0 %. Käytössä mittausepävarmuus on suurempi, koska siihen lisätään todellisen käytetyn lähteen spektrinen yhteensopimattomuus, anturin lämpötila, vanheneminen ja mittausgeometria. Se, miten näistä muodostuu epävarmuusbudjetti, on selitetty kohdassa Mittausepävarmuus UV-mittauksessa.
Downloads
Tekniset tiedotteet ovat saatavilla saksaksi ja englanniksi. Englanninkielinen versio on sitova.
