tinyTracker 172 nm: Bandradiometer voor nauwkeurige metingen van 172 nm xenon-excimerstraling
De tinyTracker 172 is een gekalibreerde bandradiometer voor het meten van bestralingssterkte en dosis op xenon-excimerlampen bij 172 nm. De SiC-fotodetector is gekalibreerd door PTB en gevoelig van 155 nm tot 520 nm, en het meetbereik is 0–200 mW/cm². Bij een hoogte van 10 mm beweegt het instrument door bestralingskanalen en registreert het tot drie uur lang met 1 tot 100 Hz – ook onder een inerte gasatmosfeer.
Xenon-excimerlampen maken nieuwe, grondstofbesparende en efficiëntere productiemogelijkheden mogelijk. Ze worden toegepast op het gebied van oppervlaktebehandeling voor matteren, reinigen, oppervlakteactivering of om het verbruik van fotoinitiatoren te verminderen.
Hiervoor wordt meestal het smalbandige spectrum rond 172 nm gebruikt om onder inertgascondities te bestralen. De hoge fotonenergie is dan voldoende om bijna alle organische verbindingen te splitsen.
De meting van 172 nm (VUV) is een belangrijk onderdeel voor procesbewaking en -optimalisatie.
Met de tinyTracker 172 bieden wij een gekalibreerde bandradiometer die geschikt is voor gebruik in een inerte atmosfeer. De tinyTracker 172 is absoluut gekalibreerd en meet de bestralingssterkte en bestralingsdosis van xenon-excimerlampen direct bij 172 nm.
Dankzij het bijzonder platte ontwerp kan de tinyTracker 172 door de bestralingskanalen van UV-banddrogers en andere industriële apparatuur worden geleid.
De registratie van de waarden start automatisch zodra een instelbare minimale bestralingssterkte wordt overschreden. De ingebouwde fotodetector is gekalibreerd door PTB.
Gegevens worden opgeslagen op een verwisselbare SD-kaart en via USB overgezet naar de pc.
Evaluatie en gegevensexport worden eenvoudig uitgevoerd met de pc-software voor tinytracker 172.
De Li-Ion-accu zorgt voor een registratieduur van tot 3 uur. De Li-ion-accu kan direct via de USB-interface worden opgeladen. Een extra voedingseenheid is meegeleverd.
Highlights van tinyTracker 172 voor xenon-excimerlampen
- Gekalibreerde fotodetector voor VUV-straling
- Ideaal voor het meten van 172 nm-straling
- Geringe hoogte van slechts 10 mm
- Snelle gegevensregistratie met tot 100 metingen per seconde
Waarom een meting bij 172 nm afhankelijk is van afstand, atmosfeer en venstermateriaal wordt uitgelegd op de pagina meten van 172 nm VUV-straling.
| Producttype | UV-meter: VUV-procesdosimeter voor 172 nm xenon-excimerlampen in inert gas |
| Spectraal bereik | 172 nm (nominale golflengte) |
| Meetbereik | 0–200 mW/cm² |
| Kalibratieonzekerheid (typ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Uitgang/interface | Interface: Mini-USB 2.0 |
| Tijdresolutie | Opnamefrequentie: 1–100 Hz, instelbaar |
| Kalibratie | herkalibreerbaar |
| Normen/richtlijnen | geen productspecifieke norm; kalibratie volgens DIN EN ISO/IEC 17025:2018 beschikbaar |
| Geschikt voor | Elektronica en halfgeleiders; Optiek en precisiecomponenten; Automotive |
| Niet geschikt voor | spectraal opgeloste meting (piekgolflengte, bandbreedte); bestralingssterkte boven 200 mW/cm² (standaardbereik); sensortemperaturen boven 60 °C; gebruik onder water of onder druk |
| Revisie datasheet | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
De hierboven vermelde kalibratie-onzekerheid is de uitgebreide onzekerheid van de kalibratie (k = 2, betrouwbaarheidsniveau ca. 95 %) en geldt voor de kalibratiebron en de kalibratieomstandigheden. Bij gebruik is de meetonzekerheid groter: spectrale mismatch bij de daadwerkelijk gebruikte bron, de sensortemperatuur, veroudering sinds de kalibratie alsmede afstand en uitlijning ten opzichte van de bron komen daar nog bij. Hoe deze samen een onzekerheidsbudget vormen, wordt uitgelegd onder Meetonzekerheid bij UV-meting.
Bekijk de tinyTracker 172 nm als 3D-model
Bekijk de datalogger van alle kanten, draai en zoom – rechtstreeks in uw browser.
De tinyTracker 172 nm kan van alle kanten worden bekeken in de 3D-productviewer – getrouw aan het origineel, gegenereerd uit de CAD-ontwerpgegevens. Met een totale hoogte van 10 mm en werkend onder een inertgasatmosfeer bepaalt elke millimeter of het instrument door het bestralingskanaal past – het ruimtelijke beeld laat dat duidelijker zien dan een cijfer.
Technische gegevens van tinyTracker 172 voor xenon-excimerlampen
| Meetbereik | 0–200 mW/cm² |
| Resolutie | 12 bit |
| Opnametijd | tot 3 uur |
| Bemonsteringsfrequentie | 1–100 Hz, instelbaar |
| Fotodetector | SiC |
| Spectrale gevoeligheid | 155 tot 520 nm |
| Afmetingen | 195 × 79 × 10 mm |
| Toegestane bedrijfstemperatuur | 60 °C |
| Voedingsspanning | 5 V DC |
| Voeding | Li-ionbatterij, 1250 mAh |
| Interface | Mini-USB 2.0 |
| Systeemvereisten | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Veelgestelde vragen: tinyTracker 172 nm
Xenon-excimerlampen bij 172 nm stralen in het vacuüm-UV, dat binnen enkele millimeters door lucht wordt geabsorbeerd; standaard UVC-sensoren met filters voor 200–280 nm registreren deze golflengte niet. De tinyTracker 172 nm is gekalibreerd bij 172 nm, de detector is gevoelig van 155 tot 520 nm en wordt direct onder de lamp gepositioneerd voor meting in een stikstof- of inertgasatmosfeer. Het meetbereik is 0–200 mW/cm².
Typische processen zijn oppervlakteactivering en -reiniging in de halfgeleider- en displayproductie, voorbehandeling voorafgaand aan verlijming of coating en het matteren van coatings met excimerlampen. In alle gevallen wordt de dosis in mJ/cm² bij het substraat bepaald, omdat deze het proces bepaalt; het instrument beweegt mee met het substraat door de inertgaszone en registreert het tijdsprofiel.
De detector is gevoelig van 155 tot 520 nm, maar het instrument is alleen bij 172 nm gekalibreerd. Bij 185 nm (ozonvormende lagedruklampen) of 222 nm (KrCl-excimer) levert het relatieve waarden, geen herleidbare bestralingssterkte; hiervoor zou een brongerichte kalibratie nodig zijn, die Opsytec op verzoek controleert. Voor 222 nm-lampen wordt daarnaast een spectroradiometer zoals de SR900 aanbevolen om nevenemissies in het UVC te beoordelen.
Het kalibratiecertificaat vermeldt de uitgebreide kalibratieonzekerheid met k = 2; voor de tinyTracker 172 nm bedraagt deze doorgaans 4,5–6,0 %. Bij gebruik is de meetonzekerheid groter, omdat spectrale mismatch bij de daadwerkelijk gebruikte bron, sensortemperatuur, veroudering en meetgeometrie daarbij optellen. Hoe deze factoren samen een onzekerheidsbudget vormen, wordt uitgelegd onder Meetonzekerheid bij UV-meting.
Downloads
De datasheets zijn beschikbaar in het Duits en het Engels. De Engelse versie is bindend.
