tinyTracker 172 nm: Radiometr pasmowy do precyzyjnych pomiarów promieniowania ekscymerowego 172 nm z lamp ksenonowych
tinyTracker 172 to wzorcowany radiometr taśmowy do pomiaru natężenia napromienienia i dawki lamp ekscymerowych ksenonowych przy 172 nm. Jego fotodetektor SiC jest wzorcowany przez PTB i czuły w zakresie od 155 nm do 520 nm, a zakres pomiarowy wynosi 0–200 mW/cm². Przy wysokości 10 mm urządzenie przemieszcza się przez kanały napromieniowania i rejestruje dane przez maksymalnie trzy godziny z częstotliwością od 1 do 100 Hz – również w atmosferze gazu obojętnego.
Lampy ekscymerowe ksenonowe umożliwiają nowe, oszczędzające zasoby i bardziej wydajne możliwości produkcyjne. Są stosowane w dziedzinie obróbki powierzchni do matowania, czyszczenia, aktywacji powierzchni lub redukcji zużycia fotoinicjatora.
W tym celu do napromieniowania w warunkach gazu obojętnego wykorzystuje się zwykle wąskopasmowe widmo wokół 172 nm. Wówczas wysoka energia fotonów jest wystarczająca, aby rozbić niemal wszystkie związki organiczne.
Pomiar 172 nm (VUV) jest istotnym elementem sterowania procesem i jego optymalizacji.
Z tinyTracker 172 oferujemy wzorcowany radiometr pasmowy, który nadaje się do zastosowania w atmosferze obojętnej. tinyTracker 172 jest bezwzględnie wzorcowany i mierzy natężenie napromienienia oraz dawkę napromieniowania lamp ekscymerowych ksenonowych bezpośrednio przy 172 nm.
Dzięki szczególnie płaskiej konstrukcji tinyTracker 172 można prowadzić przez kanały napromieniowania suszarek taśmowych UV i innych urządzeń przemysłowych.
Rejestracja wartości rozpoczyna się automatycznie po przekroczeniu ustawialnego minimalnego natężenia napromienienia. Wbudowany fotodetektor jest wzorcowany przez PTB.
Dane są zapisywane na wymiennej karcie SD i przesyłane przez USB do komputera.
Analiza i eksport danych odbywają się wygodnie za pomocą oprogramowania PC dla tinytracker 172.
Akumulator litowo-jonowy zapewnia czas rejestracji do 3 godzin. Akumulator litowo-jonowy można ładować bezpośrednio przez interfejs USB. W zestawie znajduje się dodatkowy zasilacz.
Zalety tinyTracker 172 dla lamp ekscymerowych ksenonowych
- Wzorcowany fotodetektor do promieniowania VUV
- Idealny do pomiaru promieniowania 172 nm
- Niska wysokość wynosząca zaledwie 10 mm
- Szybka rejestracja danych z częstotliwością do 100 pomiarów na sekundę
Dlaczego pomiar przy 172 nm zależy od odległości, atmosfery i materiału okna, wyjaśniono na stronie pomiar promieniowania VUV 172 nm.
| Typ produktu | Miernik UV: dozymetr procesowy VUV dla lamp ekscimerowych ksenonowych 172 nm w gazie obojętnym |
| Zakres widmowy | 172 nm (nominalna długość fali) |
| Zakres pomiarowy | 0–200 mW/cm² |
| Niepewność wzorcowania (typ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Wyjście/interfejs | Interfejs: Mini-USB 2.0 |
| Rozdzielczość czasowa | Częstotliwość rejestracji: 1–100 Hz, regulowana |
| Wzorcowanie | możliwość ponownego wzorcowania |
| Normy/wytyczne | brak normy specyficznej dla produktu; dostępne wzorcowanie zgodnie z DIN EN ISO/IEC 17025:2018 |
| Przeznaczenie | Elektronika i półprzewodniki; Optyka i komponenty precyzyjne; Motoryzacja |
| Nieprzeznaczone do | pomiaru z rozdzielczością widmową (szczytowa długość fali, szerokość pasma); natężenia napromienienia powyżej 200 mW/cm² (zakres standardowy); temperatur czujnika powyżej 60 °C; stosowania pod wodą lub pod ciśnieniem |
| Wersja karty danych | Rev. 2026-09-08 (E_tinyTracker172_for_xenon_excimer_lamps.pdf) |
Podana powyżej niepewność wzorcowania to niepewność rozszerzona wzorcowania (k = 2, poziom ufności ok. 95 %) i odnosi się do źródła wzorcującego oraz warunków wzorcowania. W praktycznym użyciu niepewność pomiaru jest większa: dochodzą do niej niedopasowanie widmowe przy faktycznie użytym źródle, temperatura czujnika, starzenie od czasu wzorcowania, a także odległość i ustawienie względem źródła. Sposób, w jaki składają się one na budżet niepewności, wyjaśniono w rozdziale Niepewność pomiaru w pomiarach UV.
Obejrzyj model 3D tinyTracker 172 nm
Proszę obejrzeć rejestrator danych ze wszystkich stron, obrócić i przybliżyć – bezpośrednio w przeglądarce.
tinyTracker 172 nm można obejrzeć ze wszystkich stron w przeglądarce produktu 3D – wiernie odwzorowany, wygenerowany na podstawie danych projektowych CAD. Przy całkowitej wysokości 10 mm i pracy w atmosferze gazu obojętnego każdy milimetr decyduje o tym, czy urządzenie przejdzie przez kanał napromieniowania – widok przestrzenny pokazuje to wyraźniej niż liczba.
Dane techniczne tinyTracker 172 dla ksenonowych lamp ekscymerowych
| Zakres pomiarowy | 0–200 mW/cm² |
| Rozdzielczość | 12 bit |
| Czas rejestracji | do 3 godzin |
| Częstotliwość próbkowania | 1–100 Hz, regulowana |
| Fotodetektor | SiC |
| Czułość widmowa | od 155 do 520 nm |
| Wymiary | 195 × 79 × 10 mm |
| Dopuszczalna temperatura pracy | 60 °C |
| Napięcie zasilania | 5 V DC |
| Zasilanie | Akumulator litowo-jonowy, 1250 mAh |
| Interfejs | Mini-USB 2.0 |
| Wymagania systemowe | Windows 10/11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Najczęściej zadawane pytania: tinyTracker 172 nm
Lampy ekscymerowe ksenonowe emitujące przy 172 nm pracują w zakresie próżniowego UV, które jest pochłaniane przez powietrze już na dystansie kilku milimetrów; standardowe czujniki UVC z filtrami na zakres od 200 do 280 nm nie rejestrują tej długości fali. tinyTracker 172 nm jest wzorcowany przy 172 nm, jego detektor jest czuły od 155 do 520 nm i jest umieszczany bezpośrednio pod lampą do pomiaru w atmosferze azotu lub gazu obojętnego. Zakres pomiarowy wynosi od 0 do 200 mW/cm².
Typowe procesy to aktywacja i czyszczenie powierzchni w produkcji półprzewodników i wyświetlaczy, obróbka wstępna przed klejeniem lub powlekaniem oraz matowienie powłok lampami ekscymerowymi. We wszystkich przypadkach wyznaczana jest dawka w mJ/cm² na podłożu, ponieważ to ona definiuje proces; przyrząd przemieszcza się wraz z podłożem przez strefę gazu obojętnego i rejestruje przebieg czasowy.
Detektor jest czuły od 155 do 520 nm, jednak przyrząd jest wzorcowany wyłącznie przy 172 nm. Przy 185 nm (ozonotwórcze lampy niskociśnieniowe) lub 222 nm (ekscymer KrCl) przyrząd dostarcza wartości względne, a nie natężenie napromienienia zgodne ze spójnością pomiarową; wymagane byłoby wzorcowanie dedykowane danemu źródłu, które Opsytec sprawdza na życzenie. Dla lamp 222 nm zalecany jest również spektroradiometr, taki jak SR900, do oceny emisji ubocznych w zakresie UVC.
Świadectwo wzorcowania podaje rozszerzoną niepewność wzorcowania przy k = 2; dla tinyTracker 172 nm wynosi ona zwykle od 4,5 do 6,0 %. Podczas użytkowania niepewność pomiaru jest większa, ponieważ dochodzą do niej niedopasowanie widmowe przy faktycznie stosowanym źródle, temperatura czujnika, starzenie oraz geometria pomiaru. Sposób, w jaki składają się one na budżet niepewności, wyjaśniono w Niepewność pomiaru w pomiarach UV.
Downloads
- Karta danych technicznych
- Model 3D tinytracker172 (STEP jako ZIP)
- Instrukcja obsługi
- Oprogramowanie (ZIP)
Karty katalogowe są dostępne w języku niemieckim i angielskim. Wiążąca jest wersja angielska.
